판매용 중고 PSC CLEANING SYSTEMS INC ES523K448AST-480 #165384
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ID: 165384
Electric Powered High Pressure washing system
System power: 480 volt 3 phase 60 Hz
Motor power: 7.5 Hp
Input 48, 5k psi.
PSC CLEANING SYSTEMS INC ES523K448AST-480은 반도체 웨이퍼 및 마스크에서 표면 오염을 제거하기 위해 특별히 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버에는 표준 크기 (30cm) 와 대형 (최대 300cm) 웨이퍼 및 마스크 조각을 모두 수용 할 수있는 진공 청소실이 있습니다. 스크러버는 입자를 제거하기 위해 독특한 이중 끝 청소 장치를 사용합니다. 단위의 상단 부분은 고체 고무 롤러 (solid rubber roller) 로 구성되며, 반도체 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 표면을 회전하고 긁는 반면, 하단 부분은 부드럽고 스퀴지 (squeegee) 와 같은 블레이드로 구성되어 웨이퍼 또는 마스크 표면에서 느슨한 입자를 수집하고 제거하는 데 도움이됩니다. ES523K448AST-480 스크러버에는 오염 물질을 수집하기위한 내장 이중 단계 여과 시스템도 있습니다. 1 차 필터는 대부분의 입자를 제거하는 소결된 스테인레스 스틸 메시 (stainless steel mesh) 인 반면, 부식 내성 메시로 구성된 2 차 필터는 스크러버에서 소진되기 전에 공기를 더 필터링합니다. 또한 스크러버 (scrubber) 에는 디지털 인터페이스 (digital interface) 가 장착되어 있어 스크러버 (scrubber) 의 상태를 표시하고 사용자가 원격으로 제어하고 성능을 모니터링할 수 있습니다. PSC CLEANING SYSTEMS INC ES523K448AST-480 스크러버의 주요 기능 중 하나는 매우 낮은 압력으로 작동 할 수 있으며, 이는 미세 가공 표면과 같은 섬세한 재료를 사용할 때 유익합니다. 이 저압 작동을 통해 스크러버는 안전하고 효율적으로 작동하며, 시간과 에너지를 절약 할 수 있습니다. 또한, 저압 작동은 민감한 물질에 대한 잠재적 손상을 제거하는데, 이는 스크러버가 스크러빙 힘을 줄이기 위해 최소 압력 (pressure) 으로만 작동하기 때문입니다. 안전 측정 측면에서 ES523K448AST-480 스크러버에는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼이 장착되어 있으며, 이 단추를 사용하면 위험한 상태가 감지되면 기계가 비활성화됩니다. 또한, 스크러버에는 습기의 빠른 증발, 부식 방지 및 웨이퍼 또는 마스크의 추가 손상을위한 질소 퍼지 시스템 (nitrogen purge system) 이 포함되어 있습니다. PSC CLEANING SYSTEMS INC ES523K448AST-480 스크러버는 반도체 웨이퍼 및 마스크를 청소하는 다른 방법에 비해 여러 가지 장점이 있습니다. 저압 작동은 섬세하고 민감한 표면에 사용하기 적합하며, 내장 여과 시스템 (built-in filtration system) 은 깨끗하고 안전한 작동을 보장합니다. 그 특징 은 반도체 "웨이퍼 '와" 마스크' 조각 에서 표면 오염 물질 을 빠르고 안전 하게 제거 하려는 실험실 에 이상적 인 해결책 이 된다.
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