판매용 중고 POLARUS A-209T #293625794

ID: 293625794
TCT Scrubber P/N: A209T-090085.
POLARUS A-209T는 효율적이고 자동화 된 웨이퍼 및 포토 마스크 청소를 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버에는 고급 진공 시스템 (advanced vacuum system) 과 사용이 간편한 손가락 제어 명령 패널이 장착되어 있어 스크러버 (scrubber) 설정을 빠르고 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. A-209T는 뒷면, FR4, 세라믹 및 랜덤 액세스 메모리 (RAM) 기판을 포함한 다양한 마스크와 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. "스크러버 '는" 웨이퍼' 나 "포토마스크 '와 청소 장치 를 실은 머리 장치 로 설계 되었다. 웨이퍼 및 마스크 청소는 자체 청소 및 퇴화를 포함하는 2 단계 스크러빙 프로세스를 통해 수행됩니다. 자체 청소 공정은 에어 제트 (air jet) 를 사용하여 먼지 입자를 날려 제거하고, 축소 공정은 고압 워터 제트 (water jet) 와 강력한 화학 용액을 사용하여 웨이퍼 및 포토 마스크 표면을 청소합니다. 스크러버 (scrubber) 의 클리닝 시스템에는 응용 프로그램의 특정 요구에 맞게 조정 할 수있는 2 개의 독립적으로 구동되는 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 클리닝 매개변수를 정확하게 제어하고 우수한 결과를 얻을 수 있습니다. "스크러버 '는 또한 3 내지 99 분 까지 설정 하거나 조정 할 수 있는 조정 가능한 청소 주기 로 설계 되었다. 청소 주기가 완료되면, 기계는 웨이퍼 (wafer) 나 포토 마스크 (photomask) 를 울리고 프로세스가 끝나면 자동으로 꺼집니다. 스크러버 (scrubber) 는 치수의 정확성을 보장하기 위해 웨이퍼 (wafer) 와 포토 마스크 (photomask) 표면을 균등하고 빠르게 건조하도록 설계되었습니다. 폴라 루스 A-209T (POLARUS A-209T) 에는 오염 물질 수준을 모니터링하고 스크러빙 과정에서 방출되는 입자가 주어진 한계를 초과하지 않도록 하는 효율적인 가스 센서가 장착되어 있습니다. "스크러버 '는 전기 충격, 전기 과부하, 유해 화학 물질 누출 을 방지 하기 위한 여러 가지 안전 기능 으로 설계 되었다. 이 "스크러버 '는 강력 하고 믿을 만한 도구 로서 광범위 한 반도체 제조, 연구 개발," 웨이퍼' 및 "포토마스크 '청소" 응용프로그램' 에서 사용 할 수 있다. A-209T는 오래 지속되고 안정적인 성능을 제공하도록 설계되었습니다.
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