판매용 중고 PCT Megasonic Hyperclean #9112300

PCT Megasonic Hyperclean은 입자 오염 감소, 생산 수익률 향상, 청소 및 유지 보수 비용 절감을 위해 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 최신 소프트 첨부 (soft attachment) 기술과 고정밀 클리닝과 메가소닉 에너지를 결합하여 정확한 클리닝 성능을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 100 kHz 저전력 초음파 에너지를 사용하여 제품의 청결성 또는 무결성을 손상시키지 않고 표면에서 입자와 파편을 분해하고 분리합니다. "스크러버 '의 특허 를 받은" 디자인' 은 조정 가능 한 "다이렉드 웨이브 '음향 반사기 로" 에너지' 밀도 분배 를 정확 히 조절 하여 균일 한 청소 결과 를 얻도록 한다. 스크러버 (scrubber) 는 흐름, 압력, 온도의 조합을 사용하여 다양한 응용 프로그램에 뛰어난 청소 성능을 제공합니다. 스크러버에는 2 단계 침수 과정이 포함되어 있습니다. 첫 번째 단계는 물 침수 과정으로, 초기 입자 교반이 시작될 수 있습니다. 그 후, 조절 가능한 고압 목욕이 표면에 적용되어, 기본 기판에 아무런 손상없이 모든 입자와 파편의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크를 청소합니다. 고정밀 청소 공정은 스크러버 (scrubber) 의 조절 가능한 메가 소닉 노즐 (megasonic nozzle) 에 의해 촉진되어 표면 전체에 균일 한 청소 범위를 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 클리닝 프로세스를 모니터링하는 자동 제어 시스템 (automated control system) 과 통합되어 배치 간의 일관성과 균일성을 보장합니다. 이 시스템에는 온도, 압력, 메가소닉 (megasonic) 전원에 대한 여러 독립 설정이 포함되어 있으므로 스크러빙 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 스크러버에는 온도, 압력 및 입자 수준을 모니터링하는 정교한 센서가 포함되어 있습니다. 스크러버에는 최대 유연성과 사용자 정의를 위해 조정 가능한 흐름 밸브가 있습니다. 다양한 클리닝 솔루션을 제공하며 다양한 크기의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 수용하여 시간과 노력을 절약합니다. 게다가, 스크러버 (scrubber) 는 작동이 쉽고 유지 보수가 간단하여 대용량 자동 생산 라인에 이상적입니다. 메가소닉 하이퍼클린 (Megasonic Hyperclean) 은 최고 수준의 클리닝 성능을 제공하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 첨단 기능, 통일된 클리닝 커버리지 (cleaning coverage) 및 자동화된 제어 시스템 (automated control system) 을 통해 대용량 산업 생산에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.