판매용 중고 ONTRAK DSS 200 series 2 #9118869

ONTRAK DSS 200 시리즈 2는 효과적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러빙을 제공하여 대규모 제작 환경에서 중요한 구성 요소입니다. 시리즈 2 옵션은 우수한 클리닝 결과를 통해 향상된 성능을 제공합니다. 이 장치에는 스테인리스 (Stainless) 기본 캐비닛과 내장형 전면 패널 (컨트롤러 장착) 이 포함되어 있어 직관적인 프로그래밍이 가능합니다. 스크러빙 챔버의 크기는 최대 200mm 직경의 웨이퍼 2 개와 최대 300mm 크기의 마스크 4 개를 수용합니다. 멀티 챔버 슬랩 스크러버 (multichamber slab scrubber) 는 3 개의 별도의 사전 프로그래밍 클리닝 프로세스를 제공하여 특정 요구 사항에 맞게 맞춤식 솔루션을 제공합니다. "스크러버 '는" 브러쉬' 없는 "모터 '로 구동 되며 잠수 식 히터 가 달린 액체 순환" 펌프' 를 포함 한다. 펌프는 균일 한 커버리지와 일관된 디온 화 된 (DI) 물 공급을 제공합니다. 자동 로드 밸런싱 기능은 효율적인 작업 및 균일 클리닝을 보장합니다. 조절 가능한 노즐은 효율적인 청소를 위해 조절 가능한 압력을 제공합니다. 고성능 DI 워터 제트 (DI water-jet) 클리닝 시스템 및 작은 입자와 와퍼 및 마스크를 관통하는 세제 기술과 함께 작동합니다. 스크러버에는 통합 여과 시스템이 포함 된 타워 탱크가 장착되어 있습니다. 최대 95 ° C의 린스 온도 (rinse temperature) 는 스크러버 수직 타워 세그먼트 상단에 위치한 열 절연 된 더블 재킷 (double jacket) 에 의해 제공됩니다. 또한 스크러버에는 조정 가능한 청소 시간 설정, 잔류 린스 기능 및 자동 정지 시스템, 출력 물 측정 센서 및 단락 회로 차단기 (short-circuit breaker) 와 같은 내장 안전 측정도 포함됩니다. DSS 200 시리즈 2 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 모든 제작 환경에 필수적이며 안정적이고 효과적인 클리닝 솔루션을 제공합니다. 고급 제어 시스템, 자동화 된 프로세스 및 열 절연 탱크를 통해 스크러버 (scrubber) 는 일관성 있고 고품질 클리닝 결과를 보장합니다. 이 장치의 내구성과 신뢰성 있는 구성은 가장 어려운 제조 조건에서 장기 (장기 운영) 에 이상적입니다.