판매용 중고 ONTRAK DSS 200 series 2 #9107602
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ONTRAK DSS 200 시리즈 2는 반도체 제조 시설에 사용하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 고압 워터 제트와 고급 마이크로 파이버 기술을 결합하여 웨이퍼 표면에서 표면 오염 물질과 임베디드 입자를 모두 제거합니다. ONTRAK 스크러버는 3 단계 청소 프로세스를 통해 웨이퍼가 철저하고 일관되게 청소됩니다. 첫째, 2 단계 고압 물 스프레이는 우표, 인쇄 불완전, 먼지와 같은 더 큰 입자를 분리하고 제거하는 데 사용됩니다. 그런 다음, 진동 하는 "브러쉬 '는" 웨이퍼' 표면 에 박힌 미세 입자 와 같은 작은 물품 들 을 제거 한다. 마지막으로, 미세 섬유 닦는 천은 나머지 입자를 포획하고 제거하는 데 사용됩니다. ONTRAK DSS 200의 시리즈 2 (Series 2) 모델에는 청소 공정에서 파편을 포착하고 샤워 물에서 오염 물질을 필터링하는 맞춤형 필터 장비가 제공됩니다. 이 "필터 '" 시스템' 은 청소 에 사용 되는 "샤워 '물 이 오염 물질 로부터 자유 롭도록 하여" 스크러버' 의 성능 과 신뢰성 을 극대화 시킨다. 스크러버는 또한 몇 가지 고급 안전 및 편의 기능을 제공합니다. 근접 루프 순환 장치는 스크러빙 과정에서 물의 온도 및 pH 수준을 지속적으로 모니터링합니다. 또한, 모든 크기와 모양의 웨이퍼에 맞게 스크러버를 조정할 수 있습니다. 디지털 제어기 (Digital Control Machine) 는 수압, 수압, 수온, 브러쉬 속도 및 스크러빙 지속 시간의 작동 및 조절을 단순화하여이 스크러버를 쉽게 사용하고 사용자 정의할 수 있습니다. DSS 200 시리즈 2는 웨이퍼 및 마스크를 청소하기 위한 효율적이고 안정적인 솔루션입니다. 고압 워터제트 (water jet), 진동 브러시 (brush) 및 마이크로 파이버 (microfiber) 천 의 조합은 웨이퍼 표면에서 표면 오염 물질과 임베디드 입자를 모두 제거하는 데 이상적입니다. 또한, 필터 툴과 고급 안전 및 편의 기능 (Advanced Safety and 편의성) 을 통해 웨이퍼가 안전하고 효율적인 방식으로 일관되게 스크러빙됩니다.
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