판매용 중고 ONTRAK DSS 200 series 1 #9195527

ONTRAK DSS 200 시리즈 1은 특허 기술로 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 제품은 반복적이고 대용량 스크러빙 (scrubbing) 어플리케이션을 위해 설계된 강력하고 비용 효율적인 생산 장비입니다. 이 고급 머신은 단일 머신 사이클로 최대 12 개의 웨이퍼 또는 기판을 빠르고 일관되게 스크러빙합니다. 극도의 웨이퍼 (wafer) 요구 사항에 적합하며, 품질 저하 없이 효율적인 운영을 제공하는 고급 클리닝 기능을 제공합니다. DSS 200 시리즈 1은 고정밀도 클리닝을 위해 웨이퍼와 마스크를 모두 스크럽합니다. 스크러버는 6 개의 독립적 인 팔로 만들어졌으며, 각 팔에는 2 개의 스핀들이 장착되어 있으며, 이는 최적의 유연성을 제공합니다. 이 기계는 가변 주파수 드라이브 (variable frequency drive) 를 사용하여 스크러빙 속도와 프로세스를 정확하게 제어하여 프로세스 타이밍 (process timing) 과 반복성을 정확하게 제어합니다. 청정실 에는 6 개 의 무기 가 모두 들어 있으며, 최고 수준 의 청결 을 유지 하고, 외부 의 오염 을 피하도록 설계 되었다. 익스트림 웨이퍼 (extreme wafer) 요구 사항을 위해 설계된 이 기계는 큰 스크러빙 영역을 갖추고 있어 모든 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 표면이 깨끗하게 유지됩니다. "스크러버 '는 또한 청소 주기 의 최대 의 반복성 을 보장 하는 견고 한 물 과 화학적" 라인' 을 갖추고 있다. 자동 화학처리 (Automated Chemical Handling) 와 제어된 압출 및 방출 (Controlled Extrusion and Release) 기능을 제공하며, 웨이퍼와 마스크를 효율적으로 적재 및 언로드할 수 있도록 자동화된 프로그래밍 가능한 급지대 시스템이 장착되어 있습니다. ONTRAK DSS 200 시리즈 1에는 여러 제어 모드를 지원하고 원격 액세스 및 모니터링을 지원하는 종합적인 컨트롤러 장치가 있습니다. 이 시스템은 강력한 소프트웨어를 활용하여 운영 데이터의 가시성과 포괄적인 설치/제어 옵션을 제공합니다 (영문). 또한 모든 수준의 운영자를 위해 설계된 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 제공되며, 모든 컴퓨터 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 뛰어난 신뢰성을 제공하여 지속적으로 결함이 없습니다. 최첨단 기술의 특징과 내구성 있고 안정적인 설계를 결합한 DSS 200 시리즈 1 (DSS 200 Series 1) 은 다양한 웨이퍼 및 마스크 어플리케이션을 위한 정밀도 및 성능 기반 스크러빙을 제공합니다.