판매용 중고 NUBAL SPL 347 #9198183
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NUBAL SPL 347 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 반도체 기판의 정밀 청소를 위해 설계된 특수 자동화 장비입니다. 집적 회로, 트랜지스터, 다이오드 및 기타 전자 부품과 같은 반도체 장치의 제작에 사용됩니다. 이 시스템은 탁월한 수준의 청소, 정밀도, 일관성을 제공하는 고유한 청소 (cleaning) 기술을 사용합니다. "와퍼 '와" 마스크' 를 효율적 이고 효과적 이며 정확 하게 청소 할 수 있는 종합 한 기능 을 제공 한다. SPL 347은 웨이퍼 및 마스크 스크러버, 공정 제어 콘솔, 에어 제트 스크러버 및 자동 건조 시스템으로 구성됩니다. 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (wafer and mask scrubber) 는 최대 8 인치까지 다양한 크기의 웨이퍼를 동시에 처리하여 대규모 생산에 이상적입니다. 또한 고정밀도 마이크로 노즐 (micro-nozzle) 설계를 통해 웨이퍼 및 마스크 표면의 효율적이고 효과적인 클리닝을 보장합니다. 자동화된 공기제트 스크러버 (air-jet scrubber) 는 매우 정확한 저압 제트기로 웨이퍼와 마스크 표면을 모두 청소하도록 설계되었습니다. 에어젯 (air-jet) 의 각속도와 방향을 제어하고 표면을 균일하게 청소하는 특수 노즐 휠 (nozzle-wheel) 이 장착되어 있습니다. 공기 제트 스크러버 (air-jet scrubber) 는 청소 시간 단축, 청소 정확도 향상, 최종 출력 제품의 일관된 품질 등 여러 가지 이점을 제공합니다. 프로세스 제어 콘솔 (process control console) 은 프로세스 모니터링 및 제어를 위해 설계되었으며, 각 기판에 대해 완벽한 프로세스를 만들 수 있습니다. 콘솔에는 여러 개의 입출력 연결 (입력/출력 연결) 이 포함되어 있어 프로세스 사용자 정의 및 자동화를 쉽게 수행할 수 있습니다. 이 콘솔은 고가용성 TFT 디스플레이 (그래픽 인터페이스 포함) 를 통해 웨이퍼 클리닝 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있습니다. NUBAL SPL 347에는 자동 건조 장치 (automated drying unit) 가 제공되어 기판마다 짧은 건조 주기와 일관된 건조 공정이 보장됩니다. 건조 기계는 히터, 블로우 박스 및 회전 블레이드로 구성됩니다. 히터 (heater) 와 블로우 박스 (blow box) 는 회전 블레이드와 결합 된 꾸준한 뜨거운 공기 흐름을 제공하여 전체 기판에 공기를 분배할 수 있습니다. 이것은 빠른 건조 시간과 일관된 건조 제품을 보장합니다. 결론적으로, SPL 347 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 대규모 반도체 부품 생산을위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 탁월한 클리닝 정확성, 고밀도, 사용자 정의 가능한 프로세스 제어 콘솔을 제공하여 프로세스 자동화를 강화합니다. 자동 건조 자산은 기판의 일관된 건조를 보장합니다. 이러한 모든 기능을 통해 NUBAL SPL 347은 집적 회로 및 기타 전자 부품의 효율적이고 고품질 제작에 이상적인 선택이 됩니다.
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