판매용 중고 NIKON NRW-504 #9137286

NIKON NRW-504 Wafer & Mask Scrubber는 처리 전 및/또는 후에 웨이퍼와 마스크를 청소하도록 설계되었습니다. 이 기계 는 "가스 '와 물리적" 스크러빙' 작용 을 조합 하여 "웨이퍼 '와" 마스크' 에서 입자 와 오염 물질 을 제거 하도록 설계 되었다. 가스 스크러빙 액션 (gas scrubbing action) 은 스테인레스 스틸 쉘 (stainless steel shell) 에 둘러싸인 스크러버 하우징 (scrubber housing) 에 연결된 제어 장비를 사용합니다. 이 "시스템 '은 정제 된" 가스' 의 조절 된 흐름 을 특정 한 속도 로 그리고 제어 된 온도 를 "스크러버 챔버 '에 투입 시킨다. "가스 '를 긁는 작용 으로 입자, 먼지 및 기타 오염 물질 들 이" 웨이퍼' 나 "마스크 '표면 에 박히게 된다. 물리적 스크러빙 액션은 스크러버 하우징 (scrubber housing) 하단에 위치한 스테퍼 모터 (stepper motor) 에 의해 구동되는 기계식 브러시 어셈블리를 사용합니다. 다양한 청소 브러시로 구성된 이 브러쉬 (brush) 어셈블리는 자체 축으로 회전하고 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 서피스를 스크러빙하여 원하지 않는 입자를 제거합니다. 필요에 따라 회전 속도 (rotation rate) 를 조정하여 적절하고 일관성 있는 스크러빙 작업 (scrubbing action) 이 웨이퍼 또는 마스크 서피스에 적용되도록 할 수 있습니다. 웨이퍼 및 마스크 슬라이드 및 선형 전송 부품은 단단한/부드러운 베어링 서피스가있는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성됩니다. 이렇게 하면 모든 제어 동작이 부드럽고 일관된 환경 운영 단위를 제공합니다. 선형 전송 기계 (옵션) 는 스테이션에서 스테이션으로 전송하는 동안 추가 보호 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 가스와 물리적 스크러빙 동작이 결합되어 일관되고 안정적인 청소 성능을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 와 그 컴포넌트 (component) 는 사용자 친화적으로 설계되었으며, 최소한의 교육 및 교육만으로 작동 할 수 있습니다. NRW-504 Wafer & Mask Scrubber는 웨이퍼 및 마스크를 청소하는 안전하고 효율적인 방법을 제공합니다. 스크러버 하우징은 단일 벽 스틸로 구성되며 청소실 운영을위한 Class 10000 요구 사항을 충족합니다. 제어 도구, 로봇 제어 동작 (robot-controlled motion), 데이터 추적 (data tracking) 기능이 결합되어 최고의 정결 표준을 충족하는 안정적이고 반복 가능한 성능을 제공합니다.