판매용 중고 NANO MASTER SWC-3000 #293812050

NANO MASTER SWC-3000은 생산 수준 반도체 제조업체에서 사용하는 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. NANO MASTER 시리즈 스크러버 라인의 최상위 모델이며 실리콘 웨이퍼, 쿼츠 웨이퍼, 세라믹 웨이퍼, 하드 마스크 등 다양한 기판 재료에 적합합니다. 이 스크러버는 PSS (Particle Suspended Solution) 와 고급 Ozone-freei Ultrasonic 기술의 조합을 사용하여 실리콘 웨이퍼 및 하드 마스크에서 침전물, 입자 및 대형 결합 오염 물질을 제거합니다. 스크러버 (scrubber) 는 여러 개의 스크러빙 도구 헤드를 수용하여 빠르고 효율적인 스크러빙 시간을 허용하도록 설계되었습니다. SWC-3000은 흐름 속도 제어, 조절 가능한 노즐 헤드, 조정 가능한 주파수 및 2 차원 스캔을 갖춘 가역 펌프 장비를 통합하여 웨이퍼를 스크럽합니다. 이 2차원 스캔은 스크러빙 성능과 효율성을 최적화하기 위해 설계되었습니다. 노즐 헤드는 2 개의 축으로 움직이도록 설계되어 스크러빙 (scrubbing) 작업 중에 최대 면적 범위를 제공합니다. 조정 가능한 주파수 설정은 또한 가장 효과적인 스크러빙 속도를 허용합니다. 스크러버에는 최첨단 압력 모니터링 시스템 (state-of-art pressure monitoring system) 이 포함되어 있으며, 스크러빙 작업 중에 압력 변화를 감지하고 압력 강하를 보상 할 수 있습니다. 이 기능은 최적의 스크러빙 성능을 유지하는 데 도움이 됩니다. 또한, 압력 모니터링 장치는 적절한 농도 및 스크러빙 용액의 양을 조절하는 데 도움이됩니다. NANO MASTER SWC-3000에는 콘덴서, 증발기 및 필터를 포함한 효율적인 첨단 공기 필터링 머신이 장착되어 있습니다. 이 공기 필터링 도구 (air filtering tool) 는 스크러빙 에셋에서 오염 물질을 효과적으로 제거하여 더 깨끗하고 효과적인 스크러빙 작업을 허용합니다. SWC-3000은 사용자 친화적 인 운영자 인터페이스 (operator interface) 로 설계되어 스크러버의 작동과 배포가 가능합니다. 풀 컬러 그래픽 LCD 화면으로, 사용자는 터치 패널에서 직접 스크러빙 및 설정을 제어할 수 있습니다. 이 인터페이스를 통해 정확한 측정이 가능하며, 연산자가 스크러빙 속도를 조정하고 매개변수 (예: 스캔, 노즐 속도) 를 설정할 수 있습니다. NANO MASTER SWC-3000은 고급 반도체 생산 설정에서 최대 효율성을 제공하도록 설계되었습니다. 이 고급 스크러버 (scrubber) 는 반도체 생산과 관련된 주기 시간과 비용을 절감하는 한편, 고품질 반도체 제품에 필요한 깨끗하고 오염이 없는 웨이퍼 및 마스크 표면을 제공합니다.