판매용 중고 MTI MULTIFAB #97293

MTI MULTIFAB
ID: 97293
웨이퍼 크기: 6"
Developer Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler Develop bowl Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost Develop module can be set up with puddle dispense or fan spray dispense Develop module will be set up with one side dispense for DI water Spare parts package included ($5,000 value) Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB는 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 웨이퍼와 마스크를 효과적이고 일관성 있고 반복적으로 청소할 수 있습니다. 전기 화학 공정, 초 순수 물 스크러빙, 증기 상 스크러빙의 조합을 사용하여 표면 입자, 오염 및 잔기를 안전하고 빠르게 제거합니다. MULTIFAB은 민감한 표면을 손상시키지 않고 최대 클리닝 성능을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 여러 가지 청소 기술을 결합하여 MTI MULTI MULTIFAB은 시장에서 가장 다양하고 강력한 스크러빙 시스템입니다. MULTIFAB는 이산화규소, 질화규소, 유리, 금속 등 다양한 표면을 효과적으로 청소하도록 설계되었습니다. 또한 감광제, 에치 잔류 물, 입자 등 다양한 오염 물질을 청소합니다. 유기 또는 무기 잔기를 제거하도록 설계되었습니다. MTI MULTIFAB에 의해 사용 된 전기 화학 공정은 에너지 화 된 이온을 용액을 통과시켜 기질 또는 마스크 표면의 화학 결합을 유인하고 분해하는 것을 포함한다. 이것은 표면 입자, 오염 물질 및 잔기를 효과적으로 제거합니다. 스크러빙 (scrubbing) 과 화학 공정 (chemical process) 의 조합은 효과적이고 일관성 있고 반복 가능한 클리닝 성능을 보장합니다. 전기 화학 공정 외에도 MULTIFAB는 초 순수 물 스크러빙 공정을 사용합니다. 초순수 물을 사용하여 기판 또는 마스크 표면의 입자를 느슨하게합니다. 이러 한 과정 을 통해 전기 화학 과정 에 약해지고, 표면 에서 오염 물질 을 신속 히 제거 한다. MTI MULTIFAB는 또한 고급 증기 상 스크러빙 프로세스를 사용하여 기판 및 마스크를 효과적으로 청소합니다. 이 과정은 초순수 물 (ultra-pure water) 의 미스트 (fine mist) 를 표면에 뿌려서 표면 깊숙이 침투하여 오염 물질 또는 잔류 입자를 방해합니다. 첨단 재활용 기술로 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 장기간 지속적으로 청소할 수 있다. MULTIFAB은 고품질 결과를 유지하면서 운영 비용을 절감할 수 있도록 설계되었습니다. 대용량 유체 탱크를 활용하여 스크러빙 주기 (scrubbing cycle) 를 연장하고 비용 효율적인 작동을 허용합니다. 또한 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 를 통해 운영 및 유지 관리를 빠르고 쉽게 수행할 수 있습니다. MTI MULTIFAB는 다양한 웨이퍼 및 마스크 재료를 안정적이고 효율적으로 청소합니다. 공정, 고급 유체 탱크 (fluid tank), 사용자 인터페이스 (user interface) 의 조합으로 기판과 마스크를 빠르고 효율적으로 정리할 수 있는 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 시장에서 가장 다양하고 강력한 스크러빙 시스템입니다.
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