판매용 중고 MTI MULTIFAB #97291

MTI MULTIFAB
ID: 97291
웨이퍼 크기: 6"
Coater Set up for 6" wafers with cassette to cassette transfer using robotic handler Side dispense for liquid HMDS dispense Tritec resist dispense Coat bowl Pneumatic hot plate, second hot plate available at additional cost Spare parts package included ($5,000 value) Additional dispense such as backside EBR, backside wash, top side EBR or bowl wash are available.
MTI MULTIFAB는 매우 효율적이고 효과적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버 솔루션입니다. 이 "스크러버 '는" 칩' 의 제조 과정 중 에 잡혔을 수 있는 잔류 입자 와 불순물 을 제거 하는 데 도움 이 되도록 설계 되었다. MULTIFAB (MULTIFAB) 은 반도체 업계에서 최고의 품질과 신뢰성 있는 성능을 지닌 칩을 만드는 데 사용되는 도구입니다. 스크러버는 물, 용매 및 공기 흐름의 실행 가능한 조합을 사용하여 작동합니다. "와퍼 '와/또는" 마스크' 를 "스크러버 '에 넣자마자 청소 과정 이 시작 된다. 제조 공정 중 에 잡혔을 수 도 있는 "입자 '와 불순물 을 용해 시키기 위하여 물 과" 솔벤트' 를 분배 한다. 일단 입자와 불순물이 용해되면, 강력한 공기 흐름이 웨이퍼 (wafer) 및/또는 마스크 (masks) 에서 긁히는 데 사용됩니다. 효과적이고 일관된 결과를 얻기 위해, 스크러버 (scrubber) 는 프로그램 가능한 사이클 레이아웃 (cycle layout) 을 제공하여 존재하는 재료 및 입자의 유형에 따라 웨이퍼 및/또는 마스크를 맞춤식 클리닝할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 클리닝 과정에서 웨이퍼 및/또는 마스크를 이동할 수있는 효과적인 컨베이어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 컨베이어 시스템 (Conveyor System) 은 웨이퍼 및/또는 마스크의 수동 처리 위험을 최소화하므로 운송 중 더 이상 오염되지 않습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 여러 개의 스크러빙 노즐 (scrubbing nozzle) 이 장착되어 있으며, 이는 최적적이고 효과적인 철저한 스크러빙을 보장합니다. MTI MULTIFAB에는 몇 가지 사용 개선 기능도 있습니다. 여기에는 포괄적 인 레시피 설정, 프로세스 내 감지 기술, 조정 가능한 매개 변수, 통합 스크러빙 기능 및 데이터 로깅 기능이 포함됩니다. 이를 통해 스크러버 (scrubber) 를 특정 웨이퍼/마스크 (wafer/mask) 의 특정 요구 사항에 맞춰 조정할 수 있으며, 사용량 데이터도 기록할 수 있습니다. MULTIFAB (MULTIFAB) 은 웨이퍼와 마스크에서 입자와 불순물을 제거하기위한 매우 효율적이고 신뢰할 수있는 스크러버 솔루션입니다. 조정 가능한 매개변수, 컨베이어 시스템, 데이터 로깅 기능과 결합된 물 (water), 용매 (solvent), 공기 흐름 (air-flow) 의 조합이 함께 작동하여 최고 품질의 칩이 생산되도록 합니다.
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