판매용 중고 MAT MAT 507BW #9382388

MAT MAT 507BW는 혁신적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 로 웨이퍼 제작 과정에서 기판 및 마스크의 입자 오염 및 기타 잔기를 쉽게 줄일 수 있습니다. 이 고급 스크러버 (scrubber) 는 유기 및 무기 입자를 효율적으로 제거하여 여러 기판을 빠르게 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 2 단계의 입자 제거 스크러빙 디스크가있는 작고 견고한 스테인리스 스틸 스크러버 챔버로 구성됩니다. 첫 번째 단계는 웨이퍼 (wafer) 와 레티클 (reticles) 패턴에서 입자를 제거하는 데 사용됩니다. 두 번째 단계는 SMIF/FOUP 웨이퍼 패턴에서 입자를 제거하는 데 도움이됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 웨이퍼 처리를 단순화하는 자동화 된 멀티 웨이퍼 카세트 처리 장비를 갖추고 있습니다. MAT 507BW는 wafer count, window size, scrubbing pressure, wafer indexing 및 transducer health monitor와 같은 고급 기능으로 스크러버 작동을 자동으로 제어합니다. 스크러버 (scrubber) 는 기판 스크러빙 공정의 실시간 모니터링을위한 압력 감지 (pressure-sensing) 요소를 가지고 있어 처리 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 또한 스크러빙 표면을 지속적으로 윤활하게 유지하여 깨끗하고 균일 한 웨이퍼 스크러빙을 보장하는 습식 시스템이 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 또한 스크러빙 과정에서 생성되는 입자를 제거하는 데 도움이되는 고급 추출 장치 (advanced extraction unit) 가 있습니다. 이것 은 "와퍼 '와" 마스크' 를 고수 하는 입자 들 을 막는 데 도 도움 이 되며, 약실 에서 청결 한 수준 을 최적 으로 유지 하는 데 도움 이 된다. 스크러버 (scrubber) 는 사용하기 쉬운 사용자 친화적 인 프로그래밍 및 운영 명령도 제공합니다. MAT MAT 507BW는 반도체 웨이퍼 제작 및 마스크 청소 프로세스에 이상적인 다양한 스크러버입니다. 여러 웨이퍼 카세트 처리 기계는 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 가속화시키며 오염 물질의 챔버 진입 위험을 줄이는 데 도움이됩니다. 고급 추출 도구 (Advanced Extraction Tool) 는 처리 환경을 깨끗하고 자유롭게 유지하는 반면, 압력 감지 요소는 정확하고 일관된 스크러빙을 보장합니다. 이 고급 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 업계에서 유용한 도구이며, 견고한 디자인으로 안정적이고 고품질의 성능을 보장합니다.