판매용 중고 MAT 1207BWA #9153452
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ID: 9153452
Gas scurbber
Gas purge
Parts & utility:
Wet: Water recirculation system
Burn: Heater heating 700℃ over
Control: PLC Control & touch panel
Utility: Exhaust ©ª100
Electric power: 208V
Air: 1/2
N2: 1/4
City water: 1/2.
MAT 1207BWA는 산화 보호 및 포토 마스크 청결성을 제공하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는 전체" 에칭' 또는 청소 과정 을 마친 후 "마스크 '에서 남아 있는" 잔류' 를 철저 하고 안전 하게 제거 할 수 있다. 최고 로딩 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 플랫폼, 강력한 멀티 스테이지 클리닝 프로세스, 통합 서브앰비언트 온도 제어 장비 (Subambient Temperature Control Equipment) 등 뛰어난 클리닝 성능을 제공하는 다양한 기능이 지원됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 용매와 세제 솔루션의 혼합과 기계적 작용 (mechanical action) 을 활용하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 표면을 철저히 청소하는 강력한 다단계 클리닝 프로세스를 사용합니다. 이 과정 은 "에칭 '이나 청소 과정 이 끝난 후 에 먼지, 파편, 입자, 잔류 광사, 단량체 등 여러 가지 오염 물질 을 제거 한다. 스크러버 플랫폼 (scrubber platform) 이 움직이면서, 세제 용액이 웨이퍼 및 마스크 표면을 문지르도록 스핀을 브러쉬 (brushe) 합니다. 스크러빙 (scrubbing) 과정은 가장 완고한 잔류물조차도 제거하는 데 효율적이고 강력합니다. 1207BWA 스크러버 (scrubber) 는 분자 청소 과정 전반에 걸쳐 온도에 대한 정확한 제어를 제공하는 하위 주변 온도 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 이 온도 조절 (temperature control) 은 표면의 무결성을 유지하는 한편, 세제 (detergent) 솔루션이 깊고 효과적인 청소를 제공 할 수있는 최적의 환경을 제공하는 데 도움이됩니다. 이 온도 조절 은 또한 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 표면 을 차갑게 유지 함 으로써 응축 (화학적 오염 을 초래 할 수 있다) 의 형성 을 방지 한다. 최고 수준의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 청결성을 보장하기 위해 스크러버에는 공기 정화 장치도 내장되어 있습니다. 이 정제기 는 "스크러빙 '과정 중 에" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 재연결 을 막기 위하여 먼지 입자, 파편, 기타 잔류 한 광자재 및 파편 을 공기 에서 제거 할 수 있다. MAT 1207BWA 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 모든 포토 마스크에 대해 뛰어난 청결 및 산화 보호를 제공합니다. 강력한 스크러빙 공정 (scrubbing process) 과 정확한 온도 조절 도구 (temperate control tool) 를 결합하여 최적의 표면 청결을 보장하는 반면, 공기 정화 자산은 먼지, 파편, 나머지 포토 esist 또는 파편을 제거하여 추가 오염으로 이어질 수 있습니다. 고급 기능을 갖춘 이 스크러버 (scrubber) 는 모든 photomask 청소 프로세스에 적합한 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.
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