판매용 중고 M-SETEK VR 8000 #9092966

M-SETEK VR 8000
ID: 9092966
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Wet stations, 8", 1997 vintage.
M-SETEK VR 8000은 다양한 기판을 효과적으로 청소하도록 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 7 축 로봇 암을 장착하여 정확하고 효율적인 마스크 클리닝을 위해 최대 180 도의 동작을 허용합니다. 또한 "스크러버 '는 건조 및 습식 청소 기능 을 모두 제공 해 주며, 민감 한 기판 의 물리적 및 화학적 청소 를 모두 허용 한다. VR 8000 은 자동화된 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있어 직경 300 밀리미터 (최대 300 밀리미터) 의 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 로봇 암은 스크래치 내성 플루오로 폴리머 (scratch-resistance fluoropolymer) 로 코팅되어 표면 손상을 입지 않고 다양한 경도의 기질과 함께 사용하기에 안전합니다. LED 조명 전망실은 웨이퍼 표면을 쉽게 검사 할 수 있습니다. 스크러버는 고성능 공기 압축기와 가스 플러시 캐비닛으로 구동됩니다. 이 구성 요소는 정밀하고 일관된 청소 성능을 위해 일정한 진공 및 공기 압력을 모두 제공합니다. 또한 "스크러버 '에는 여러 가지 특수 한" 노즐' 이 들어 있는데, 이것 은 "웨이퍼 '표면 을 가로질러 전달 되는 청소제 의 양 을 정확 하게 제어 할 수 있다. M-SETEK VR 8000에는 레이저 안전 장치, 후액 추출기, 후압 밸브 등 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이러 한 특징 들 은 "스크러버 '의 안전 하고 효과적 인 작용 을 보장 해 주며, 수술자 를 위험 한 화학 물질 로부터 보호 해 준다. 내장 사용자 인터페이스는 스크러버 (scrubber) 의 작동을 단순화하는 반면, 일련의 센서는 시스템 성능에 대한 실시간 모니터링을 제공합니다. VR 8000은 고급 통합 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 7 축 로봇 암 및 자동 웨이퍼 처리 시스템은 효율성과 정확도를 높입니다. 강력한 공기 압축기 (air compressor) 와 가스 플러시 (gas flushed) 캐비닛은 일관된 청소 성능을 제공하는 반면, 안전성 기능은 안전한 작동을 보장합니다. 스크러버는 또한 LED 조명 시청 챔버를 갖추고 있으며, 정확한 시각적 검사를 할 수 있습니다. 결과적으로 M-SETEK VR 8000 (M-SETEK VR 8000) 은 클리닝 프로세스의 속도와 정확성을 극대화하려는 실험실과 시설에 이상적인 선택입니다.
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