판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9393471

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy는 전 세계 반도체 산업 전문가들이 사용하는 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 뛰어난 웨이퍼 뒷면 청소 및 마스크 스크러빙을 위해 설계되었습니다. 이 기계는 웨이퍼 클리닝 헤드 (wafer cleaning head) 와 2 개의 워크 스테이션이있는 마스크 스크러버 (mask scrubber) 와 단일 액체 배달 장비로 구성됩니다. 웨이퍼 클리닝 헤드 (wafer cleaning head) 는 중심축을 중심으로 웨이퍼 배열을 회전시켜 고속 클리닝 솔루션에 균일하게 노출시킵니다. 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 독특한 로봇 암을 사용하여 단일 마스크 기판 (single mask substrate) 또는 다중 마스크 기판 (multiple mask substrate) 의 전면 및 후면에 클리닝 유체 빔을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 작업은 언제든지 사용 가능한 작업 매개변수 변경으로 완전히 자동화됩니다. 온트랙 시너지 (ONTRAK Synergy) 는 뛰어난 웨이퍼 백사이드 클리닝 옵션과 고속 클리닝 솔루션에 대한 균일 한 노출을 제공하여 웨이퍼 및 마스크 클리닝에서 수개월의 연구 및 테스트 시간을 절약 할 수 있습니다. 시스템은 단일 및 다중 마스크 기판에서도 잘 작동합니다. 스크러버 (scrubber) 작업 설정을 쉽게 조정하여 특정 응용 프로그램에 대해 우수한 클리닝 결과를 제공할 수 있습니다. 이 장치는 또한 광범위한 안전 기능 (Safety Features) 을 갖추고 있으며, 이는 조작자가 유해한 청소 화학 물질에 노출되는 것을 줄이는 데 도움이됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 보호용 주택 (protective housing) 으로 둘러싸여 운영자가 잠재적 인 위험한 화학 물질 노출에서 벗어날 수 있도록 도와줍니다. 이것 은 또한 "클리닝 '되는 기판 의 표면 의 무결성 을 보호 하는 데 도움 이 된다. 기계 는 또한 "클리닝 '과정 에서 액체 분산 의 양 을 줄이는 데 도움 이 되는" 드라이 사이클' 기능 을 가지고 있다. 전반적으로 LAM RESEARCH Synergy는 최적의 웨이퍼 및 마스크 스크러빙을 위해 설계되었습니다. 다양한 애플리케이션에 적합한, 사용자 친화적이고 효율성이 높은 툴입니다. 이 자산은 안정적이고 비용 효율적인 스크러버 (scrubber) 솔루션으로, 유해 화학 물질에 노출될 위험을 줄이고, 빠르고 효율적인 청소 성능을 통해 시간을 절약하며, 균일하고 우수한 결과를 제공합니다.