판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9388332

ID: 9388332
System.
LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy는 반도체 제조 산업에서 주로 사용되는 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버는 ONTRAK과 LAM RESEARCH 모두에서 개발 한 혁신적인 기술 조합을 기반으로 탁월한 클리닝 성능을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 공압 및 기계 청소 기술을 결합하여 단일 패스에서 웨이퍼와 마스크에서 오염 물질을 효과적으로 제거합니다. ONTRAK 시너지 스크러버 (Synergy Scrubber) 에는 다양한 크기와 밀도의 원통형 브러시가 특징입니다. 스크러버 (scrubber) 의 이중 펄스 밸브 시스템 (dual pulse valve system) 은 브러시가 표면에 적당한 양의 압력을 가하여 최적의 클리닝 수준을 보장합니다. 또한, 스크러버의 이중 펄스 밸브 어셈블리는 스크러빙 프로세스가 부드럽고 손상되지 않도록 보장합니다. 스크러버는 또한 LAM RESEARCH/ONTRAK의 고급 정밀 드라이브 기술을 사용하여 스크러빙 프로세스가 정확하고 정확한지 확인합니다. 스크러버 (scrubber) 의 정교한 모터 제어 장치 (motor control unit) 는 부드럽고 안정적인 성능을 제공하는 반면, 독립적으로 제어되는 축은 스크러버가 웨이퍼 표면을 가로 질러 정확하게 이동하고 정확한 정렬을 보장합니다. LAM RESEARCH Synergy 스크러버는 또한 고급 유체 전달 기술을 사용하여 입자와 저항을 효과적으로 제거합니다. 이중 유체 매니 폴드 시스템은 흐름 제어 밸브 (flow control valve) 와 함께 작동하여 스크러버에 유체를 정확하게 전달합니다. 따라서, 일관되고 정확한 청소 결과를 얻을 수 있으며, 웨이퍼 및 마스크 손상을 최소화할 수 있습니다. 시너지 스크러버 (Synergy scrubber) 에 사용되는 고급 스크러빙 기술은 웨이퍼 및 마스크 제조의 전체 수율을 향상시키는 데 도움이됩니다. 스크러버의 공압 및 기계 청소 기술 조합은 기존 스크러빙 방식보다 빠르고, 더 철저한 청소를 가능하게하며, 정밀 모터 구동 스크러빙 시스템 (crubbing system) 과 유체 전달 기술 (fluid delivery technology) 은 웨이퍼와 마스크를 안전하고 효과적으로 스크러빙하는 데 도움이됩니다.
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