판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #9384775

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy는 반도체 생산 응용 프로그램을 위해 고품질의 정밀한 스크러빙 솔루션을 제공하기 위해 설계된 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 시스템은 ONTRAK 및 LAM RESEARCH의 고급 기술을 결합하여 효율성과 효과를 극대화합니다. 스크러버는 최소 재료 사용량으로 최적의 스크러빙 결과를 제공하기 위해 설계된 저압, 저류, 프로그래밍 가능한 브러시 헤드 스프레이 시스템 (Fine-Pitch Actuator) 을 갖춘 2 축 로봇 암을 사용합니다. "로봇 '은 전체 작업량 을 사용 하여" 웨이퍼' 표면 을 일관성 있게 균일 하게 문지르도록 한다. 이 솔루션은 또한 활성 입자 포획 필터를 갖춘 정전기 충전, 필터링, 전자 가열 건조기를 사용합니다. 이렇게 하면 "웨이퍼 '를 빠르고 완전 히 말려서 잔류 한 것 이 남지 않게 된다. 스크러버는 최대 유연성을 위해 설계되었으며, 대부분의 기존 웨이퍼 직경 (최대 300mm) 과 마스크 크기 (최대 220mm) 를 수용합니다. 또한 단일 런에서 최대 8 개의 웨이퍼와 4 개의 마스크를 동시에 청소할 수 있습니다. 또한 설계는 최대 6,000 웨이퍼/시간의 매우 높은 스크러빙 처리량을 보장합니다. ONTRAK 시너지 스크러버 (Synergy Scrubber) 는 특정 생산 요구 사항을 충족하도록 고도로 맞춤형 자동 프로세스 흐름을 통해 반도체 생산 프로세스에 편리성과 정확성을 제공합니다. 고급 기능을 사용하면 높은 스크러빙/드라이어 사이클 (scrubbing/dryer cycle), 다양한 표면 형상, 컴퓨터 제어 중재 지점 등에 맞게 조정할 수 있는 노즐 클리닝 (cleaning nozzle) 등의 다중 구성을 수행할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 애플리케이션별 요구 사항에 따라 자동화된 장비 설계의 최고 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 예방 유지 보수가 필요하기 전에 매년 2 천만 개가 넘는 부품을 유지할 수 있습니다. 이는 중복 센서, 인터 록 (interlock), 자동 오류 감지 (automated error detection) 및 복구 알고리즘과 같은 고급 안전 기능을 사용하여 보장됩니다. 비용 효율적인 효율적인 솔루션을 제공하기 위한 LAM RESEARCH Synergy scrubber의 헌신은 설계 전반에 걸쳐 분명합니다. 유연성, 고급 자동 청소 프로세스 (Automated Cleaning Process) 와 함께 운영 및 유지 보수 비용이 낮아 생산 등급 스크러빙 (Scrubbing) 솔루션에 가장 적합한 솔루션 중 하나입니다.