판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy #293627340

ID: 293627340
Wafer scrubber.
LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy는 모든 유형의 자동차, 항공 우주 및 반도체 웨이퍼 및 마스크에 대해 정확하고, 안정적이며, 반복 가능한 입자 제거를 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "웨이퍼 스크러버 '는 현대 의" 반도체' 제조 공장 의 필요 를 여러 가지 특징 과 기능 으로 충족 시키도록 설계 되었다. 신뢰할 수 있고 반복 가능한 입자 제거 장비를 갖춘 이 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼와 마스크가 정확하고 안정적인 성능을 위해 가시적이고 해로운 입자가 없도록 합니다. LAMONTRAK Synergy 스크러버의 입자 제거 시스템에는 효과적인 청소를위한 2 축 및 3 축 스크러버가 포함됩니다. 2 축 스크러버는 웨이퍼와 마스크의 가장자리와 표면에서 입자를 효과적으로, 빠르게 제거합니다. 반면, 3 축 스크러버 (scrubber) 는 웨이퍼와 마스크의 가장자리, 전면, 뒷면에 균일하고 일관된 청소를 달성하기 위해 노력합니다. 이 스크러버에는 스크러빙 중 정밀한 정렬, 배치, 동작을 보장하도록 설계된 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling unit) 도 제공됩니다. 또한 스크러버는 사용자에게 사용하기 쉬운 사용자 친화적 인 Control Machine을 제공하여 스크러버의 클리닝 매개 변수 (가속 및 감속, 속도 및 힘, 웨이퍼 & 마스크 크기, 스크럽 재료 유형) 를 프로그래밍하고 제어할 수 있습니다. 또한, 사용자는 8 인치 및 12 인치 플랫 패드와 2 인치 및 3 인치 반경 코어 패드를 포함하여 다양한 재료 및 응용 프로그램을 위해 다양한 스크럽 패드를 선택할 수 있습니다. 우수한 입자 제거를 위해, 스크러버에는 특수 워터 제트 (water jet) 와 브러쉬 (brushe) 가 장착되어 조정이 가능합니다. 안전 및 유지 보수 측면에서 LAMLAM RESEARCH 시너지 스크러버 (Synergy scrubber) 에는 웨이퍼 존재 탐지기, 진동 측정기 및 물 누출 탐지 도구와 같은 광범위한 스마트 자동화 기능 및 센서가 제공됩니다. 이 스크러버는 또한 향상된 입자 제거를위한 작업이 완료되면 자동 공기 플러싱 (air-flushing) 과 최대 안전을 위해 다중 계층 스크러버 보호 에셋 (multi-layered scrubber-protecting asset) 을 제공합니다. 전반적으로 시너지 스크러버 (Synergy scrubber) 는 입자 제거 및 최적화 클리닝을 개선하기 위해 다양한 기능과 이점을 제공합니다. 안정적이고 정확한 성능, 사용자 친화적인 모니터링 모델, 고급 자동화 기능을 갖춘 이 스크러버 (scrubber) 는 자동차, 항공 우주, 반도체 웨이퍼 및 마스크에 이상적인 선택입니다.
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