판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK Synergy Integra #9268725

LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy Integra는 웨이퍼 및 마스크 스크러버의 최신 혁신입니다. "와퍼 '와" 마스크' 를 제어 하고 반복 할 수 있는 과정 에서 중대 하게 청소 할 수 있도록 설계 된 독립형 장비 이다. 조정 가능한 청소 압력, 저 거품 작동 및 반복 가능한 청소 결과를 제공하는 고급 통합 제어 시스템 (Advanced Integrated Control System) 이 있습니다. 이 고유 장치 (Unique Unit) 는 운영 환경에서 가장 높은 오염 제어 (Contamination Control) 요구 사항을 충족하는 동시에 가장 일반적인 기존 프로세스 툴과 완벽하게 통합할 수 있는 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. ONTRAK Synergy Integra는 효율적인 단일 패스 클리닝을 통해 청소실 생산성을 최적화하도록 설계되었습니다. 이소 프로필 알코올 기반 솔루션 (isopropyl alcohol-based solutions) 과 같은 광범위한 청소 솔루션을 사용하여 제작 전에 표면에서 잠재적 인 오염 물질을 제거합니다. 또한 가변 압력 (variable pressure) 으로 자동화된 프로세스 스크러빙을 사용하여 일관되고 반복 가능한 표면 청소 결과를 보장합니다. 이 기계에는 처리 압력, 계면 활성제 농도, 린스주기 지속 시간, 재순환 주기 주파수를 조정하여 청소 결과를 조정하는 조정 가능한 컨트롤이 포함됩니다. 또한, LAM RESEARCH Synergy Integra는 자체 포함 및 포함된 환경을 제공하기 위해 전체 인클로저 도구를 갖추고 있습니다. 모든 자산 구성 요소는 외부에서 액세스할 수 있으며, 완벽한 운영 유연성 (Operating Flexibility) 과 더 큰 제품 안전 (Safety) 및 신뢰성을 제공합니다. 이 모델에는 또한 조정 가능한 자동화 설정 (Adjustable Automation Settings) 이 포함되어 있어 인력 요구 사항을 줄이고 청소 결과를 향상시킬 수 있습니다. 또한, 이 장비는 자동 경고 생성 및 배치 요구 사항을 충족하지 못하는 웨이퍼 배출 (ejection) 을 제공합니다. Synergy Integra에는 실시간 청소 실 입자 수준을 측정하기 위해 RTPC (Real Time Particle Counter) 가 장착되어 있습니다. 이 기능은 클리닝 성능을 높이고 제품 오염 위험을 줄입니다. 또한 스크러버에는 세척주기 (pre-wash cycle), 주 세탁주기 (main wash cycle), 대용량 린스 및 건조주기 (rinse and drying cycle) 및 반복 가능한 결과를 보장하기위한 재순환주기가 있습니다. 이 시스템에는 공장 내 부품 처리 솔루션도 포함되어 있어 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH/ONTRAK Synergy Integra는 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 또한 반복 가능한 정확성과 프로세스 제어를 제공하는 한편, 클린 룸 오염물질이 최소한으로 유지되도록 합니다. 이 장치의 유연한 클리닝 솔루션 설정, 자동 경고 기능, 통합 실시간 입자 카운터 (counter) 를 통해 스크러버의 프로세스 효율성을 극대화할 수 있습니다. ONTRAK 시너지 인티그라 (Synergy Integra) 는 생산성 최적화, 공장 내 부품 처리 솔루션, 조정 가능한 자동화 설정을 통해 모든 청소실 환경에 귀중한 추가 기능을 제공합니다.