판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK DSS 200 Series 0 #9224100
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LAM RESEARCH/ONTRAK DSS 200 Series 0은 반도체 제조 환경에서 사용하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 설계는 표준 포토 마스크 (photomask) 에서 집적 회로 (ICs) 가있는 매우 복잡한 포토 마스크 (photomask) 에 이르기까지 다양한 재료에서 뛰어난 성능을 제공합니다. "스크러버 '는" 마스크' 와 "웨이퍼 '형태 를 포함 하여 거의 모든 종류 의" 마스크' 를 효율적 으로 청소 할 수 있다. 스크러버 (scrubber) 는 고압 공기와 진동 원반 브러쉬의 조합을 사용하여 포토 마스크 표면에서 포토 마스크 잔기와 입자 오염을 빠르고 효과적으로 제거합니다. "스크러버 '는 먼저 공기" 노즐' 을 사용 하여 가압 "스프레이 '의 물, 비누 또는 세척 용액 을" 포토마스크' 표면 에 바른다. 그 뒤 로, 회전 하는 "브러쉬 '가 있어서 용액 을 동요 시키고" 포토마스크' 에서 잔기 와 입자 오염 을 제거 한다. 스크러버 (scrubber) 는 포토 마스크 손상을 최소화하고 모든 마스크 및 웨이퍼 표면을 완전히 청소하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 안전 장치가 내장되어 있어 포토 마스크 (photomask) 가 보호되지 않은 상태에있을 때 스크러버가 실행되지 않도록 합니다. 따라서 감수성 표면을 손상시킬 필요 없이 photomask 를 안전하게 청소할 수 있습니다. 또한, 이 스크러버 (scrubber) 와 함께 사용할 수있는 선택적 생물 안전 필터 (biosafety filter) 를 사용할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 처리량이 높으며 시간당 최대 200 개의 웨이퍼를 사용할 수 있습니다. 이렇게 하면, 높은 수준 의 청결 함 을 유지 하면서, 신속 하고 효율적 인 청소 를 할 수 있다. 스크러버 (scrubber) 는 과부하, 과전압 및 회로 보호 (short circuit protection) 기능을 갖춘 3중 예비 전원 공급 장치로 구동되어 안정적인 작동을 보장합니다. 결론적으로 ONTRAK DSS 200 Series 0은 반도체 제조 환경에 탁월한 클리닝 성능을 제공하도록 설계된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버 (scrubber) 는 효율적인 클리닝 기능과 내장형 안전 시스템 (Safety System) 및 높은 처리량을 결합하여 안정적이고 안전한 포토마스크 클리닝을 보장합니다.
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