판매용 중고 LAM RESEARCH / ONTRAK DSS 150 #9314439
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LAM RESEARCH/ONTRAK DSS 150은 반도체 산업에서 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그것 은 "웨이퍼 '와" 마스크' 를 처리 할 때 최고 의 정확도 와 청결 의 표준 을 깨끗 이 하고 유지 하도록 설계 되었다. ONTRAK DSS 150은 웨이퍼 및 마스크를 고정밀 청소하기 위해 2 개의 브러시를 사용하는 자동 스크러버입니다. 또한 탁월한 마스크 에지 (mask-edge) 클리닝 기능을 제공하며 마스크의 기능 손상을 크게 줄입니다. LAM RESEARCH DSS 150은 기본 단위와 부착 가능한 구성 요소로 구성됩니다. 기본 장치는 내구성을 위해 스테인리스 (stainless) 로 만들어졌으며, 직관적인 LCD 디스플레이를 통해 사용자가 컴퓨터를 탐색하고 작동하도록 도와줍니다. 또한 마스크 스크러버 속도 및 압력 제어를 정확하게 제어하기위한 수압 브레이크가 포함됩니다. 기계는 세척기, 린스 스테이션 및 이중 스크럽 어셈블리로 구성됩니다. "와셔 '는" 와이퍼' 나 "마스크 '에서 입자 와 오염 물질 을 제거 하기 위하여 사이온' 화 한" 제트 '와 "브러쉬' 를 사용 한다. 그 린스 스테이션 (Rinse Station) 은 초순수, 이온 화 된 물을 사용하여 마스크에서 느슨해진 입자를 추가로 청소하고 제거합니다. 스크럽 (scrub) 어셈블리는 완고한 입자와 오염 물질을 제거하는 데 사용되며, 다양한 유형의 브러시 헤드로 구성할 수 있습니다. DSS 150은 인체 공학적이고 사용자 친화적 인 스크러버로 설계되었습니다. 자동 (automatic) 및 수동 (manual) 작업을 전환할 수 있는 피트 페달이 있습니다. 조정 가능한 마스크 홀더를 사용하면 빠르고 쉽게 조정할 수 있으며, 스크럽 컨트롤러는 스크럽 시간 (scrub time) 과 압력 (pressure) 에 맞게 미리 설정하여 다른 웨이퍼와 마스크를 수용할 수 있습니다. 기본 장치에는 스크러빙 스테이션 (scrubbing station) 연결을위한 여러 포트와 어댑터와 외부 장치 (예: 컴퓨터, 펌프 및 밸브) 가 있습니다. 전반적으로 LAM RESEARCH/ONTRAK DSS 150은 반도체 산업의 고정밀 청소 및 유지 관리를 위해 설계된 품질 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 기계에는 마스크, 조정 가능한 마스크 홀더, 스크럽 컨트롤러, 기타 포트 및 어댑터의 기능 손상을 줄이는 몇 가지 기능이 있습니다. 이 기계는 인체 공학적, 사용자 친화적 인 스크러버로, 사용자가 보다 높은 수준의 정확성과 깨끗함을 얻을 수 있도록 도와줍니다.
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