판매용 중고 LAM RESEARCH DSS 200 #9289905

LAM RESEARCH DSS 200은 에치 후 청소 및 프리 코트 적용에 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 세련되고 인체 공학적 인 디자인이 특징이며 스크러빙 효율성을 높이도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200은 2 개의 독립적 인 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 를 사용하여 균일 한 청소 프로파일을 제공하는 독특한 2 챔버 장비를 사용하는 반면, 다양한 브러시 헤드 및 연마 재료를 사용하여 주어진 응용 분야에 대한 최고의 스크러빙 매체 및 기술을 선택할 수 있습니다. DSS 200은 성능과 안정성을 위해 제작되었습니다. 이 공사는 수명이 길고 표면 청소 품질이 우수합니다. 소형 디자인으로 ONTRAK DSS 200은 실험실, 청소실 또는 반도체 생산 환경에 쉽게 통합할 수 있습니다. 고급 스크러빙 컨트롤러에는 클로즈드 루프 (closed-loop) 브러쉬 속도 제어 시스템 (brush speed control system) 과 세그멘테이션 프로파일 (segmentation profile) 이 장착되어 각 응용 프로그램에 대해 효과적인 스크러빙 솔루션을 사용할 수 있습니다. 분리 가능한, 조절 가능한 손 지팡이를 통해 수동 스크러빙 응용 프로그램을 쉽게 완료 할 수 있습니다. LAM RESEARCH DSS 200은 극도의 균일성과 뛰어난 잔류 제거 기능을 갖춘 깨끗한 스크러브 (scrubbed) 표면을 제공하여 에치 후 클리닝 품질과 프리 코트 기판 준비 결과를 제공합니다. 스크러버의 스크럽 (scrub) 과정은 입자와 금속 오염 물질을 감소시켜 기판에 존재하는 결함을 효과적으로 제거 할 수있다. 스프레이 장치 (spray unit) 는 스크러빙 과정에서 균등하게 분배 된 클리닝 솔루션을 만들어 건조한 영역이 남지 않도록 합니다. LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200은 또한 사용되는 모든 클리닝 에이전트의 화학을 추적하는 안정적이고 사용하기 쉬운 클리닝 에이전트 제어 머신을 갖추고 있습니다. 단일 프로세스와 다중 단계 프로세스 모두에서 사용할 수 있습니다. 믿을 수있는 스프레이 도구 (spray tool) 는 최고의 워시 존 (wash zone) 커버리지를 제공하여 일관되고 균일 한 표면 마무리를 보장합니다. 추가 기능에는 웨이퍼를 모니터링하는 LED 조명 (LED Lighting) 과 전체 마스크 (Mask) 가 포함되어 있어 다운타임을 최소화하면서 스크러빙을 최적화할 수 있습니다. 전반적으로, DSS 200 (DSS 200) 은 엄격한 공간에서 뛰어난 기판 청소 결과를 제공하도록 설계된 경제적인 고성능 스크러버입니다. 고급 컨트롤러 (Advanced Controller) 자산은 안정적이고 효율적인 스크러빙 프로세스를 보장하는 반면, 사용하기 쉬운 클리닝 에이전트 제어 모델은 스루핑 (through-put) 효율성 및 수율을 극대화하는 데 도움이됩니다. ONTRAK DSS 200은 에치 후 청소 및 사전 코트 응용 프로그램 요구에 적합한 솔루션입니다.