판매용 중고 LAM RESEARCH DSS 200 #293761472

LAM RESEARCH DSS 200
ID: 293761472
웨이퍼 크기: 8"
CMP Cleaners, 8".
LAM RESEARCH DSS 200은 반도체 장비 산업의 유명한 리더 인 LAM RESEARCH Corporation이 개발 한 고급형 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 혁신적인 장비는 반도체 (semiconductor) 및 마이크로일렉트로닉스 (microelectronics) 제조 공정의 엄격한 청소 요구 사항을 충족시켜, 최고 수준의 청결을 보장하고 웨이퍼 제작을 실현하도록 설계되었습니다. LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200은 고급 기술과 기능의 조합을 활용하여 사이클의 시간을 최소화하고 처리량을 극대화하면서 뛰어난 클리닝 성능을 제공합니다. DSS 200 의 주요 특징 중 하나는 다용도 설계 (versatile design) 인데, 이를 통해 광범위한 웨이퍼 크기, 재료, 공정 화학 물질을 수용할 수 있습니다. 이러한 유연성은 R&D 및 대용량 운영 환경 모두에 이상적인 솔루션이 됩니다. ONTRAK DSS 200의 코어 클리닝 메커니즘은 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면에서 오염 물질과 입자를 효과적으로 제거하는 독점 스크러빙 프로세스를 기반으로합니다. 이 프로세스는 제어 환경에서 수행되므로, 재오염을 방지하고 배치 간에 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 시스템에는 고급 로봇 (robotics) 및 자동화 (automation) 기능이 장착되어 있어 청소 과정에서 웨이퍼를 정확하게 처리하고 포지셔닝할 수 있습니다. LAM RESEARCH DSS 200은 사전 청소, 스크러빙, 린싱 및 건조 등 여러 청소 단계를 통합하여 웨이퍼 표면에서 입자와 잔기를 철저히 제거합니다. 스크러빙 프로세스 (scrubbing process) 는 웨이퍼의 섬세한 구조물을 손상시키지 않고 높은 수준의 청결을 달성하도록 최적화되었습니다. 이 장치는 또한 청소 화학 물질의 순도를 유지하고 교차 오염을 방지하기위한 고급 여과 및 화학 관리 시스템 (Advanced Filtration and Chemical Management Systems) 을 갖추고 있습니다. 효율성과 생산성을 극대화하기 위해 LAM RESEARCH ONTRAK DSS 200에는 고급 소프트웨어 제어 및 모니터링 기능이 장착되어 있습니다. 운영자는 손쉽게 클리닝 레시피 (cleaning recipe) 를 프로그래밍하고, 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하며, 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 시스템의 성능을 추적할 수 있습니다. 또한 공구를 공장 자동화 자산 (factory automation asset) 과 통합하여 운영 라인 환경에서 원활하게 운영할 수 있습니다. DSS 200 은 안전 및 환경 준수 측면에서, 화학적 처리, 폐기물 관리, 방출 제어에 대한 업계의 엄격한 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 이 모델에는 안전 인터 록 (Safety Interlock), 비상 정지 (Emergency Stop) 기능 및 배기 스크러버 (Scrubber) 가 장착되어 있어 운영자의 안전한 작업 환경을 보장하고 환경에 미치는 영향을 최소화합니다. 전반적으로 ONTRAK DSS 200은 반도체 제조에서 웨이퍼 및 마스크 청소를위한 최첨단 솔루션을 나타냅니다. 첨단 기술, 견고한 디자인, 사용자 친화적 인터페이스를 통해 반도체 제작 프로세스에서 최고 수준의 깨끗함 (Cleanliness) 과 수율을 달성할 수 있는 안정적이고 효율적인 툴입니다. LAM RESEARCH DSS 200은 탁월한 청소 성능, 유연성, 고급 자동화 기능으로 반도체 업계의 다양한 어플리케이션 (R&D, 대용량 생산) 에 적합합니다.
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