판매용 중고 LAM RESEARCH 2300 Coronus #293668768

LAM RESEARCH 2300 Coronus는 첨단 반도체 프로세스를 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 정교한 이온 소스 어레이로 구성된 독점 시스템을 사용하여 고정밀 클리닝 및 고급 플라즈마 소스 기술 (Plasma Source Technology) 을 제공하여 스크러빙 및 청소 능력을 최대화합니다. 코로 누스 (Coronus) 는 습식 및 건식 스크러빙, 마스크 클리닝, 웨이퍼 스크러빙 및 플라즈마 애싱 모두를 포함하여 다양한 응용 분야를 위해 설계되었습니다. 코로 누스는 몇 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. 이온 소스 어레이, 전원 공급 장치, 진공 펌프, 기판 표면 위로 공구를 움직이는 로봇 암 (robotic arm) 이 있습니다. 이온 소스 어레이 (ion source array) 는 극히 작은 미립자 물질의 강렬한 플라즈마 클리닝을 제공하며, 응용에 따라 다른 파장 및 에너지로 조정 될 수있다. 전원 공급 장치 는 "플라즈마 '의 강도 를 제어 하여 진공" 펌프' 가 공구 와 기판 의 내부 청결 을 유지 하는 동안 정확 한 청소 를 한다. 로봇 암 (robotic arm) 은 웨이퍼 또는 마스크를 단일 작동 지점으로 처리하는 자동 스크러빙 (scrubbing) 을 허용합니다. 코로 누스 (Coronus) 의 고급 플라즈마 클리닝 시스템은 최대 12 인치 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 수동 스크러빙보다 최대 3 배 빠른 클리닝 속도를 제공합니다. 이 도구는 또한 모든 모양, 크기, 컴포지션의 웨이퍼 기판을 지원하도록 설계되었습니다. 코로누스 (Coronus) 의 강력한 디자인과 고급 전자 제품 (Advanced Electronics) 은 가장 어려운 표면조차도 효율적으로 청소 할 수 있습니다. 코로누스 (Coronus) 는 에너지 효율성이 매우 높으며, 높은 성능과 낮은 유지 관리를 유지하면서 원치 않는 가스의 배출을 제한하는 친환경적인 설계를 갖추고 있습니다. 모듈식 설계와 개방형 아키텍처를 통해 유지 보수 및 업그레이드가 간편합니다. 또한, 코로누스 (Coronus) 는 광범위한 자동화 및 프로세스 모니터링 시스템과 호환되므로 기존 반도체 생산 라인에 신속하게 통합 할 수 있습니다. 전체적으로 2300 Coronus는 반도체 생산에 사용하도록 특별히 설계된 안정적이고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 고급 플라즈마 기술과 자동화를 결합하여 정확한 클리닝 및 고성능 결과를 제공합니다. 코로누스 (Coronus) 의 모듈식 설계와 유연한 아키텍처를 통해 다양한 요구 사항을 충족할 수 있는 뛰어난 성능을 갖춘 툴입니다.