판매용 중고 KOCAT KSI-701 #9314418
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ID: 9314418
Wet scrubber for ICP
Capacity: 500 SLM
Interlock: flow sensor, level sensor
Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3
Processing efficiency : >99%
Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW
N2: 4-7kg/cm2
CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2"
Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2"
Maintenance Drain: NPT 1/2"
Gas inlet: 3 port, NW50
(3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min
Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm
Weight: 350 kg
2011 vintage.
KOCAT KSI-701은 KOCAT Corporation에서 제조 한 고급 대형 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 반도체 조립 (semiconductor assembly) 과 처리 (processing) 애플리케이션에 사용하도록 설계되어 대규모 생산 라인의 요구에 적합합니다. KOCAT KSI 701은 다양한 클리닝, 스크러빙, 연마 기능을 통해 뛰어난 성능과 사용 편의성을 제공합니다. 주요 목적은 다양한 백엔드 생산 프로세스에 사용되는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 표면을 청소하고 복원하는 과정을 돕는 것입니다. "웨이퍼 '나" 마스크' 의 양쪽 을 독립적으로 문지르고, 대량 생산 작업 을 신속 하고 효과적 으로 문지르도록 할 수 있다. KSI-701 (KSI-701) 은 또한 매우 효과적이고 효율적인 것을 사용하여 부품 표면에 대한 오염 및 기타 빌드 업을 줄일 수 있습니다. KSI 701은 완전자동 머신으로, 웨이퍼와 마스크를 청소하고, 스크러빙 (scrubbing) 하고, 연마, 고품질 (quality) 표준으로 만들 수 있습니다. 이것은 X-Y 스크러빙 테이블, 선형 VPI 스크러빙 시스템, 진동 스크러빙 시스템 등 다양한 통합 함수에 의해 달성됩니다. 기계는 직경 25mm (wafer) 까지 쉽게 처리 할 수 있기 때문에 고급 웨이퍼 핸들러 (wafer-handler) 도 클리닝 기능을 추가합니다. 안전성 및 유지 보수 측면에서 KOCAT KSI-701은 뚜껑의 연동 기능, 가스 차단 기능, 자동 물 차단 기능 등 다양한 보호 기능을 갖추고 있습니다. 이는 안전한 운영을 보장하며 수동 유지 관리의 필요성을 줄이는 데 도움이 됩니다. 알람 (alarm) 과 센서 (sensor) 도 다양하며, 이를 통해 손상으로부터 문지르는 부품을 보호하기 위해 작업의 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. KOCAT KSI 701은 소규모/대규모 반도체 생산 어플리케이션을 위해 설계된 혁신적인 제품으로, 다양한 청소, 스크러빙, 연마 기능을 제공합니다. 이 제품은 안정적이고, 효율적이며, 사용하기 쉽기 때문에 하이엔드 (High-End) 및 엔트리 레벨 (Entry-Level) 생산 라인의 요구에 이상적입니다. 또한, 고급 안전 (Safety) 및 모니터링 (Monitor) 기능을 통해 품질과 안전이 속도를 위해 결코 손상되지 않습니다.
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