판매용 중고 KOCAT KC-805 #9099439

KOCAT KC-805 웨이퍼 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 반도체 생산을 위한 최고 품질의 웨이퍼 및 마스크 클리닝을 보장하도록 설계된 특수 로봇 장비입니다. 이 "시스템 '은 무결성 을 유지 하면서" 웨이퍼' 와 "마스크 '에 오염 을 제거 하기 위한 안정적 이고 효율적 인 해결책 으로 만들어졌다. KC-805는 독자적으로 조정 가능한 3 개의 웨이퍼 홀더와 3 개의 마스크 홀더를 갖춘 독특하게 설계된 공정 챔버 및 특허를받은 웨이퍼 및 마스크 스크러빙 헤드를 갖추고 있습니다. 이 홀더는 프로세스 사이클 당 최대 10 개의 풀 사이즈 웨이퍼와 4 개의 마스크 어레이를 지원합니다. 스크러빙 헤드는 최대 클리닝 기능을 위해 고정밀도 및 조절 가능한 스크러빙 속도로 4 축 동작이 가능합니다. 특별 히 설계 된 "위스커 '와 스크러빙" 패드' 로 오염 물질 과 먼지 입자 를 효과적 으로 제거 할 수 있다. 코캣 (KOCAT) KC-805는 PLC 및 전용 운영 장치로 구동되며, 프로세스 제어를 세밀하게 조정하고 반복성을 높입니다. 이 기계는 고급 제어 알고리즘을 제공하여 스크러빙 속도 (scrubbing speed), 재충전 힘 (recharging force), 클리닝 영역 (cleaning zone) 등 프로세스 설정에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이렇게 하면 청소 과정 이 일관성 이 있고 안정성 이 있으므로, "반도체 '산업 의 까다로운 사양 을 충족 시킬 수 있다. 또한 KC-805는 빠르고 쉬운 설치 및 유지 관리를 위한 자동 로드/언로드 도구를 제공합니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 를 청소 하는 동안 상해 와 피로 를 피할 수 있도록 "에셋 '을 적재 및 적재 하는 것 이 인체 공학적 이다. 이 모델은 또한 독립적 인 물 (water) 과 청소 스테이션 (cleaning station) 을 갖추고 있어 청소 솔루션 유지 보수 및 재활용이 쉽습니다. KOCAT KC-805 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 고품질의 청정실 생산에 이상적인 선택입니다. 특허받은 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 와 정확한 4 축 모션을 통해 오염과 먼지 입자를 빠르고 안전하게 제거 할 수 있습니다. 통합 제어 알고리즘, 간편한 로드/언로드, 재활용 스테이션 (Recycling Station) 을 통해 생산은 일관되고 효율적입니다.