판매용 중고 KOCAT KC-601 #9314417

ID: 9314417
Wet scrubber for ICP Capacity: 500 SLM Interlock: flow sensor, level sensor Processing gas: HCl, HF, Cl2, BCl3, SiH2Cl2, HBr, POCl3, NH3 Processing efficiency : >99% Power: AC220V, max 5KW, normal 3KW N2: 4-7kg/cm2 CW: 2-5kg/cm2, 2-5L/min, NPT 1/2" Overflow drain: Acid drain, 2-5L/min, NPT 2" Maintenance Drain: NPT 1/2" Gas inlet: 3 port, NW50 (3) Process exhaust : -50--100mmH2O, 2m3/min Dimension(W×D×H): 710×220×1650 mm Weight: 350 kg 2011 vintage.
KOAT KOCAT KC-601 웨이퍼 (Wafer) 및 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 는 실리콘 웨이퍼 및 마스크 스크러빙을 위해 연속적이고 고성능 워터 제트 클리닝을 제공하도록 설계된 소형 머신입니다. 이 장치는 특허를 획득한 제트 (jet) 설계를 통해 최고 수준의 제어 및 정확성을 제공하며, 이를 통해 최적의 청결을 보장할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 원버튼 (one-button) 작업을 통해 작업 모드 사이를 쉽게 전환하여 습식 (wet) 기판 및 건식 (dry substrate) 기판을 빠르고 쉽게 청소할 수 있습니다. KOAT KC-601에는 고압 3 중 펌프가 장착되어 있어 스크러빙 프로세스가 효율적이고 균일합니다. "스테인레스 '" 스틸' 본체 와 자동화 된 수술 로 인해 기계 는 가장 까다로운 환경 에서도 상태 와 청결 을 유지 할 수 있게 되었다. 조정 가능한 노즐은 쉽게 포인팅하고 스프레이 방향을 제어하도록 최적화되어 있습니다. 이것은 정밀도를 보장하고 깨끗한 작동을 위해 의도하지 않은 액체 스플래터를 줄입니다. 또한 KOAT KOCAT KC-601에는 이산화실리콘 필터도 장착되어 있습니다. 이 여과 장비 는 나머지 "잔류 '가 효과적 으로 제거 되도록" 마이크로소픽' 입자 를 포착 하여 제거 하도록 설계 되었다. 그 결과, 기계 의 청소 성능 이 향상 되어, 그 결과 보다 우월 한 마무리 가 된다. KOAT KC-601 (KOAT KC-601) 은 고급 안전 기능 시스템으로 제조되어 안전하고 안전합니다. 압력 조절 장치 (pressure control unit) 는 워터젯의 압력을 조절하는 반면, 안전 밀봉기는 물 침입 가능성을 방지합니다. 또한, 내장 비주얼 디스플레이는 스크러빙 프로세스의 작동 및 시각적 표시를 모두 제공합니다. 전체적으로 KOAT KOCAT KC-601은 강력하고 사용자 친화적 인 스크러빙 솔루션을 제공합니다. 효율적이고 안정적인 운영을 통해 모든 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 스크러빙 (mask scrubbing) 프로세스에 이상적인 선택이 가능합니다. 최첨단 성능, 정밀도, 안전성을 갖춘 KOAT KC-601 은 뛰어난 품질의 스크러버 (scrubber) 를 원하는 모든 사람에게 완벽한 선택입니다.
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