판매용 중고 KITEC RMM 510 #9262198

KITEC RMM 510은 웨이퍼 및 마스크 청소 자동화를 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 회전 브러쉬 및 고속 공기 흐름과 함께 3 방향 모션 기계식 암 (mechanical arm) 시스템을 사용하여 웨이퍼와 마스크를 깊이 청소합니다. "암 '장치 는 회전 하는" 브러쉬' 와 "노즐 '을" 웨이퍼' 나 "마스크 '의 모든 3d 표면 주위 에서 정확 하게 이동 시켜 최대 의 청소 효율성 을 보장 할 수 있다. 스크러버 (scrubber) 는 전력 소비와 성능을 클린 룸 호환성과 결합한 고급 에코 테크 엔지니어링으로 설계되었습니다. 이 시스템은 입자를 빠르고 완전히 제거하기 위해 800Pa (high suction power) 와 최대 40m/sec (고속 공기 흐름) 를 사용합니다. 스크러버 (scrubber) 는 wafer 및 mask 의 그래픽 표현과 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 클리닝 (cleaning) 및 일관된 제품 품질을 제공합니다. 또한 과부하, 과열, 프로세스 오류 등의 경우 자동 종료 (automatic-off) 와 같은 추가 안전 기능도 제공합니다. 또한, 스크러버는 여러 가지 청소 요구 사항을 충족시키기 위해 최대 21 개의 레시피로 프로그래밍 될 수 있습니다. RMM 510은 가변 속도와 압력을 가진 3 개의 독립적 인 브러시 헤드와 함께 제공되어 효율성을 극대화합니다. 이것은 표면의 깊은 청소를 보장하기 위해 강력하고 심지어 공기 흐름 (air-stream flow) 을 생성하는 3 개의 독립적 인 노즐과 결합됩니다. 이렇게 하면 수동 청소 (manual cleaning) 가 필요 없게 되고 일관되고 신뢰할 수 있는 청소 프로세스가 제공됩니다. 이 스크러버 (Scrubber) 는 적절한 농도와 적절한 시간에 세제를 정확하게 추가 할 수있는 화학 센서를 내장하여 청소 품질 향상 (Cleaning Quality) 을 향상시키고 화학 물질을 절약 할 수 있습니다. 또한 자동 시작/중지 (start/stop) 기능을 통해 청소 프로세스를 모니터링하고 에너지를 절약할 수 있습니다. 최대 안전 및 청소 품질을 보장하기 위해 KITEC RMM 510은 CFR 21, EU GMP 및 ISO 9001, ISO 14001 및 ISO/TS16949 표준을 준수합니다. 생체 및 화학 요구 사항을 모두 충족시키기 위해 부식 내성 가스 타이트 코팅이있는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어집니다. 또한 전체 클린 룸 호환성을 위해 자동 워터 필터 (옵션) 가 있습니다. RMM 510 은 강력하고 경제적이며 사용이 간편한 솔루션으로, Wafer 및 Mask Cleaning 의 최고 품질을 보장합니다. 첨단 기술과 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 갖춘 Cleanroom 애플리케이션에 적합합니다.