판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC MJB-45S #9194567

KARL SUSS/MICROTEC MJB-45S는 반도체 제조에 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장비는 웨이퍼 및 마스크 청소 프로세스를 자동화하도록 설계되었습니다. MICROTEC MJB-45S에는 처리를위한 4 개의 스테이션과 함께 로드 및 언로드를위한 로봇 암이 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 개선 된 결과를 위해 다중 단계 청소 작업이 있습니다. 먼저, "로봇 '은" 카세트' 에서 "웨이퍼 '나" 마스크' 를 제거 하여 젖은 "스테이션 '에 넣는다. 습식 "스테이션 '에서 는" 웨이퍼' 나 "마스크 '에 가열 된 청소 용액 을 뿌려 표면 에 있을 수 있는 입자 와 잔해 를 제거 한다. 그런 다음, "로봇 '은" 와퍼' 나 "마스크 '를" 린스' 정거장 으로 운반 하는데, 거기 에 남아 있는 잔류 물 을 제거 하기 위해 DI 물 로 "린스 '를 한다. 스크러버 스테이션 (scrubber station) 에서, 웨이퍼 또는 마스크는 부드러운 브러시로 부드럽게 스크러빙되어 입자가 제거되었는지 확인합니다. "웨이퍼 '를 위하여" 로봇' 은 "웨이퍼 '를 건조 한" 드라이어' 역 으로 운반 한다. 일단 "웨이퍼 '나" 마스크' 를 청소 하면 다시 "카세트 '에 넣어 제조 공정 의 다음 단계 에 대비 한다. KARL SUSS MJB-45S는 다양한 스크러빙 프로세스에서 뛰어난 정확도, 정확성 및 반복 성을 제공합니다. 또한 일관성 있고 제어 가능한 클리닝 사이클이 있으며, 고품질, 입자 없는 결과를 안정적으로 생성 할 수 있습니다. 또한 수자원 소비율이 낮습니다. 즉, 운영자는 청소 솔루션을 자주 교체하거나 보충할 필요가 없습니다. 더우기, 그것 은 닫힌 "루프 '처리 에 사용 되도록 설계 되었는데, 이것 은 동일 한" 클리닝' 용액 을 여러 번 사용 하여 낭비 를 감소 시킬 수 있음 을 의미 한다. MJB-45S는 안정적이고 효율적일 뿐만 아니라, 매우 안전합니다. 이 장치는 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 센서 (sensor) 와 보호 장치 (protection device) 를 장착하여 부상 위험을 대폭 줄여줍니다. 이 기계는 인체 공학적으로 설계되어 운영자에 쉽게 사용할 수 있습니다. 전반적으로 KARL SUSS/MICROTEC MJB-45S는 웨이퍼와 마스크에 효과적이고 효율적인 스크러빙 도구입니다. 일관성 있고 안정적인 프로세스를 제공하며, 안전과 인체 공학을 염두에 두고 설계되었습니다. 최소한의 청소 솔루션 폐기물 (cleaning solution waste) 로 매우 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으므로 입자 없는 결과가 필요한 반도체 제조 작업에 적합합니다.