판매용 중고 KARL SUSS / MICROTEC ASC 5500 #9355468

KARL SUSS/MICROTEC ASC 5500은 반도체 제조 및 테스트를 위해 설계된 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 파퍼 (wafer) 표면에서 photoresist와 원치 않는 퇴적물을 제거하는 빠르고, 효율적이며, 반복 가능한 방법을 제공 할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 통합 제어 장치와 최대 25,000 rpm까지 생산할 수있는 강력한 고에너지 스크러빙 모터가 장착되어 있습니다. 조정 가능한 플랫폼 (Adjustable Platform) 을 통해 다양한 웨이퍼 크기와 두께를 정확하게 처리 할 수 있습니다. "스크러버 '는 또한 여러 가지" 스크러빙' 기술 을 통하여 효율적 인 화학 세척 작용 을 하도록 설계 된 2 개 의 세척 "헤드 '를 갖추고 있다. 이 스크러버 (scrubber) 는 클리닝 미디어 소비를 최소화하고 안정적이고 효율적인 클리닝 장비를 제공하기 위해 설계되었습니다. 또한 스크러버 (scrubber) 는 최적의 클리닝 성능을 제공하면서 웨이퍼를 손상시키지 않도록 미디어를 스크러빙하는 정확한 온도 설정을 제공합니다. 또한, 물을 스크러빙 챔버를 통해 순환하여 온도를 조절합니다. 스크러버의 교환 가능한 브러시는 다양한 청소 기술에 사용될 수 있습니다. 이러 한 "브러쉬 '는 여러 가지 재료 조성물 로 사용 할 수 있으며, 여러 가지 용도 에 사용 된다. 이 유연성을 통해 스크러버 (scrubber) 는 포토 esist 제거에서 에치 클리닝 (etch cleaning) 에 이르기까지 광범위한 작업에 사용될 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 클리닝 미디어 유형, 스크러빙 힘, 스크러빙 시간, 챔버 온도, 웨이퍼 서피스 유형, 웨이퍼 크기 등 작동 조건에 대한 선택을 제공하는 고급 사용자 인터페이스가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 최대 400mm 웨이퍼를 수용할 수 있도록 설계되었으며, 전체 자동화를 위해 다양한 장비와 인터페이스 (interface) 할 수 있습니다. 또한 이 장치에는 빠르고 쉬운 문제 해결을 지원하는 OBD (On-Board Diagnostic) 시스템이 포함되어 있습니다. 요약하면, MICROTEC ASC 5500은 효율적인 자동 스크러빙 (scrubbing) 툴로, 다양한 애플리케이션에 사용되며 사용자에게 정밀 청소 기능을 제공합니다. 강력한 모터, 조절 가능한 플랫폼, 교환 가능한 브러쉬, 고급 사용자 인터페이스 (user interface) 가 장착되어 있어 정확한 작동이 가능합니다. On-Board Diagnostic 자산은 잠재적인 문제를 신속하게 파악할 수 있도록 합니다. 이 스크러버는 반도체 장치의 대용량 및 고품질 생산에 적합합니다.