판매용 중고 K&S 971 #9195855

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K&S 971
판매
ID: 9195855
Microwash station.
K&S 971 웨이퍼 & 마스크 스크러버는 웨이퍼 및 포토 esist 마스크 청소에 사용되는 소형, 경량, 강력한 다목적 스크러버입니다. 그것 은 "알루미늄 ', 석영 및 유리 를 포함 하여 단일" 마스크' 나 여러 "마아크 '의 습식 및 건조 한 화학적 문지르기 를 위해 설계 되었다. 971 스크러버 (scrubber) 는 포토 리토 그래피 과정에서 파퍼 클리닝 및 포토 esist, 유기 잔기, 산화물 및 기타 표면 오염의 제거를위한 신뢰할 수있는 장비입니다. K&S 971 웨이퍼 & 마스크 스크러버에는 두 가지 모드를 사용할 수 있습니다. 일반 스크럽 모드 및 딥 스크럽 모드. 일반 스크럽 (Normal Scrub) 모드에서는 스크럽 헤드가 나란히 진동하고 완만한 스크러빙 힘이 웨이퍼 표면에 적용되어 안정적이고 일관된 클리닝 동작이 가능합니다. 더 지속적인 재료의 경우, 딥 스크럽 (Deep Scrub) 모드는 표면에 손상을 입히지 않고 잔류를 빠르게 제거하기 위해 다양한 공격적인 스크러빙 동작을 적용합니다. 971은 다양한 목욕 솔루션과 호환됩니다. 조정 가능한 욕조 (adjustable bath) 는 화학 물질의 농도가 올바른 다른 재료를 목표로 할 수있는 맞춤형 청소 솔루션을 허용합니다. 또한, 별도의 스크러빙 챔버 (scrubbing chamber) 는 오염 물질이 목욕에 들어가는 것을 방지하고, 스크러빙 중에 웨이퍼와 화학 작용을 피하는 것을 방지합니다. K&S 971은보다 맞춤형 스크러빙 성능 (예: 스크러버 속도, 진동 깊이, 전체 스크러버 사이클 시간) 에 대한 다양한 작동 매개 변수를 제공합니다. 또한, 971에는 스크러버 성능을 모니터링하고 유지 관리 주기를 추적하는 진단 시스템이 내장되어 있습니다. 시스템은 스크러버 성능을 향상시키는 데 도움이 되는 진단 피드백을 제공합니다. K&S 971 웨이퍼 및 마스크 스크러버는 웨이퍼 및 사진 촬영 프로세스에 가장 효율적이고 신뢰할 수있는 스크러버입니다. "유연성 '과" 진단' 기능을 통해 반도체 업계에서 선호되는 선택으로 삼아 고품질 웨이퍼 (wafer) 와 포토리토그래피 (photolithography) 제품을 생산할 수 있었습니다.
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