판매용 중고 JIUWEI TECH A 300 #9170641

JIUWEI TECH 300 Wafer 및 Mask Scrubber는 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크 청소용으로 설계된 자동 청소 도구입니다. 로봇 조작기 팔과 청소 공기 칼이 장착되어 있습니다. 300 개는 최대 300mm 웨이퍼 및 마스크 크기를 수용 할 수있는 넓은 챔버 클리닝 영역으로 설계되었습니다. "웨이퍼 '와" 마스크' 는 특수 적재 "플레이트 '를 사용 하여 방 에 안전 하게 넣어 놓는데, 그것 은 쉽게 열리고 닫을 수 있다. "로봇 '암 은 특정 한 궤적 을 따라 움직 이고, 청소 구역 위 에" 웨이퍼' 나 "마스크 '를 정확 하게 배치 하도록 설계 되었다. 청소 "나이프 '는 속도 와 각도 를 융통성 있게 조정 하여" 웨이퍼' 표면 을 거칠게 긁거나 "가우징 '하거나 번짐 없이 철저 한 청소 를 할 수 있다. 이 챔버에는 24 시간 동안 작업 할 수있는 이중 통합 및 독립 컨베이어 시스템 (Conveyor System) 이 장착되어 있습니다. 에어나이프 (Air Knife) 는 균일 한 클리닝 매개변수를 생성하고 웨이퍼 서피스와의 지속적인 접촉을 유지할 수 있습니다. 챔버는 또한 초저 비활성 가스 소비와 환경 친화적 인 질소 (N2) 퍼지 사이클로 설계되었습니다. JIUWEI TECH A 300 Wafer 및 Mask Scrubber 사용자 인터페이스는 실시간 운영 제어를 위한 멀티 스테이지 아이콘 기반 제어 및 모니터링 시스템을 갖추고 있습니다. 또한 정교한 프로세스 추적 (process tracking) 및 추적 (traceability) 소프트웨어가 포함되어 있어 기술자가 프로세스 문제를 신속하게 파악하고 실시간 프로세스를 조정할 수 있습니다. 300 Wafer 및 Mask Scrubber는 고급 반도체 기술 청소에 이상적입니다. 고급 지능형 (Advanced Intelligent) 알고리즘을 통해 자원을 낭비하거나 재료를 손상시키지 않고 안정적이고 효율적인 청소 프로세스를 보장합니다. "시스템 '의 자동화 와 제어 는 청소 과정 의" 오류' 를 감소 시켜 최상 의 "웨이퍼 '청소 가 일관성 있게 이루어지도록 한다.