판매용 중고 JAS 191 TM #9401541

JAS 191 TM은 전자 및 반도체 제조에 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 시스템은 플랫 서피스를 자동으로 스크러빙하고 웨이퍼 프레임 (wafer frame) 과 마스크 (mask) 외부를 청소할 수 있습니다. 청소 동작에 DI 물을 사용하며 여러 개의 동시 스크럽을 수행 할 수 있습니다. 이 장치는 사이클 당 24 기판의 용량을 가지며, 미립자 수준이 낮고 미크론 (sub-micron) 수준이 깨끗하도록 설계되었습니다. 이 기계는 오버 헤드 오염을 줄이기 위해 스테인리스 스틸 시트 (stainless steel sheet) 가있는 부식 내성 스테인레스 스틸 구조로 만들어졌습니다. 주택에는 옵션 흐름 후드 재순환 (flow hood recirculation), 스크럽 사이클의 높이를 조정하는 조정 가능한 레일, DI 수압 및 스크러빙 동작을 조절하는 조절 가능한 흐름 밸브가있는 이동식 도어가 있습니다. 191TM은 직관적이고 사용자에게 친숙한 터치 스크린 인터페이스에서 실행됩니다. 제어 시스템을 사용하면 Scrub Cycle 의 시간, 압력, 동작을 특정 요구 사항에 맞게 신속하게 설정, 조정할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 최적의 결과를 얻기 위해 스크럽 사이클을 조정하는 자동 사이클 최적화 (automatic cycle optimization) 기능을 제공합니다. JAS 191 TM은 회전 브러쉬 스크러빙 액션을 사용하여 웨이퍼 프레임과 마스크를 효과적으로 청소합니다. 저압 펌프 (low-pressure pump) 에 의해 청소 용액이 전달되고 기판 표면에서 오염을 느슨하게한다. 회전 하는 "브러쉬 '는" 마스크' 나 "웨이퍼 '의 윤곽선 을 따르며 높은 정확도 로 철저 히 깨끗 해진다. DI 물이있는 마지막 린스주기 (rinse cycle) 는 공정을 완료하여 완벽하게 깨끗하고 건조한 기질을 남깁니다. 이 시스템은 ESD 호환성 및 NEBS 인증을 포함한 업계 최고의 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 기존 반도체 또는 전자 제품 제조 공정에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 기계는 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드로 작동할 수 있으며 다양한 기판 크기를 수용하도록 쉽게 조정할 수 있습니다. 191 TM은 저압 안전 스위치 (Low-Pressure Safety Switch), DI 린스 탱크의 유출 억제, 장치 근접 작업을하는 사람들을위한 명확한 보호 실드 (Protection Shield) 등 여러 가지 안전 기능이 설계되어 있습니다. CE 인증을 받았으며 안전 및 배출 표준을 모두 충족합니다.