판매용 중고 IPI ECS-2106 #9249414

IPI ECS-2106
ID: 9249414
빈티지: 1990
Wet scrubber, parts machine 1990 vintage.
IPI ECS-2106은 라인 웨이퍼 (line wafer) 및 마스크 스크러버 (mask scrubber) 의 상단이며, 웨퍼 및 마스크 표면을 안정적이고 고성능 스크러빙을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 패드리스 (padless) 기술을 갖춘 습식 화상 (wet burn-in) 장치에서 작동하며, 스크러브 된 표면을 통해 용액과 입자를 균일하게 옮기는 공정 기술입니다. 이렇게 하면 광범위한 패드, 브러쉬 (brushe) 또는 기타 액세서리 없이도 빠르고 안정적인 클리닝 프로세스가 가능합니다. 코어에서 ECS-2106에는 "벨트가없는" 컨베이어 시스템을 갖춘 3 레벨 필링 플레이트 스크러버가 있습니다. 이 시스템은 웨이퍼 및 마스크 표면의 균일 한 패턴으로 최대 20,000rpm에서 0.1 ~ 0.4äm 용액 입자를 분배합니다. 그런 다음, 문지른 표면 은 화염 발전기 "모듈 '을 통과 하여 입자 들 이 연소 되어, 깨끗 하고 오염 된 자유 표면 을 제공 한다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 몇 가지 오버플로, 린싱, 건조 및 자외선 경화 시스템을 통합하여 스크러브 된 표면이 잔여 잔해가 완전히 없도록 보장합니다. 스크러버는 또한 선택적 특수 탈수 검출기 (SDD) 기술을 제공하며, 이 기술은 웨이퍼와 마스크에서 dew 및 liquid debris residual을 즉시, 정확하게 감지합니다. 또한 IPI ECS-2106은 탁월한 프로세스 제어 메커니즘을 제공하여 매우 정확한 스크러빙 주기를 허용합니다. 입자 크기 (particle size), 분배 속도 (rate of dispensation) 및 컨베이어 속도 (conveyor speed) 와 같은 프로세스 매개변수는 모두 개별 요구 사항에 따라 설정할 수 있습니다. 또한 각 주기에 대해 사용자정의 프로세스 매개변수 (custom process parameters) 와 시퀀스 (sequence) 를 사용하여 여러 스크러빙 주기를 프로그래밍할 수도 있습니다. 또한, ECS-2106 은 직장에서 발생할 수 있는 사고와 부상의 위험을 최소화하기 위해 특수 안전 (Safety) 기능으로 설계되었습니다. 이온화 된 미스트 클리너 시스템 (ionized mist cleaner system) 이 내장되어 주변 환경의 위험한 에어로졸 입자를 제거합니다. 또한 장애가 발생할 경우 전원 공급 장치를 즉시 분리하는 '장애 안전 (fail-safe)' 메커니즘을 제공합니다. 전반적으로 IPI ECS-2106은 최첨단 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 웨이퍼 및 마스크 표면을 안정적이고 효과적으로 청소합니다. 패드리스 기술, 최첨단 입자 분배 및 굽기 모듈, 효율적인 린싱 및 건조 메커니즘, 포괄적 인 안전 기능을 모두 포괄하는 스크러빙 패키지에 결합했습니다. ECS-2106 은 높은 정밀도 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 안정적으로 청소해야 하는 모든 업계에 이상적인 솔루션입니다.
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