판매용 중고 IPI ECS-2103 #9249411

IPI ECS-2103은 IPI Sphinx, Inc.에서 개발 한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 반도체 업계에서 사용되는 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 의 신뢰성과 품질을 향상시키도록 설계되었습니다. Wafer Scrubber와 Mask Scrubber의 두 가지 주요 구성 요소로 구성되어 있습니다. Wafer Scrubber는 한 번에 최대 600mm 웨이퍼와 50 개의 웨이퍼 플레이트를 처리 할 수 있습니다. Wafer Scrubber는 완만하고 부드러운 웨이퍼 스크러빙을 제공하는 Gentle MotionTM 듀얼 스테이지 브러쉬 스크러버 시스템을 사용합니다. 웨이퍼 스크러버 (Wafer Scrubber) 에는 최대 스크러빙 효능을 위해 프로그래밍 가능한 다운 힘, 조절 가능한 브러쉬 속도, 부드러운 브러쉬 높이 조정 및 2 단계 물 재활용 시스템이 장착되어 있습니다. Mask Scrubber는 한 번에 최대 6 개의 마스크와 4 개의 마스크 플레이트를 처리하도록 설계되었습니다. 특허를 획득한 CPM (Critical Patterning Method) OrbitalPulse 기술을 활용하여 마이크로 레벨의 마스크를 효과적으로 청소하고 스크러빙하여 고급 결과를 보장합니다. 마스크 스크러버 (Mask Scrubber) 에는 2면 스크럽 압력 제어, 조정 가능한 회전 속도, 균일 한 브러시 커버리지, 방향성 공기 소용돌이 요소 및 뛰어난 스크러빙 결과를 제공하는 슬러지 분리기 시스템이 장착되어 있습니다. ECS-2103 은 사용이 간편한 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 효율성이 높고 경제적입니다. 모든 종류의 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 에 대한 품질 클리닝 및 스크러빙을 제공 할 수 있으며, 반복 가능한 스크러빙 레시피를 쉽게 재사용할 수있는 통합 맞춤형 레시피 설정 메모리를 갖추고 있습니다. IPI ECS-2103 의 두 가지 주요 구성 요소는 다양한 고급 기능과 컨트롤을 갖추고 있어 사용자 친화적이며, 반복 가능하고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 스크러빙에 최적화되어 있습니다. ECS-2103 은 비용을 절감하고 품질을 높일 수 있는 방법을 모색하는 모든 반도체 제조 (semiconductor fabrication) 생산 라인에 적합합니다.