판매용 중고 HUGLE UPS-12100 #9257503

HUGLE UPS-12100
ID: 9257503
FOUP Cleaner.
HUGLE UPS-12100 (HUGLE UPS-12100) 은 입자, 흙, 먼지, 필름 및 기타 외국 물질을 웨이퍼 및 마스크 표면에서 제거하는 포괄적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 장치는 습식 (wet) 및 건식 (dry) 클리닝 기술을 결합하여 표면을 철저하고 효율적으로 스크러빙합니다. 습식 클리닝은 자동 스프레이 제트 (spray jet) 를 사용하여 수행되며 드라이 클리닝은 내장 PLC 제어 브러시 시스템을 통해 수행됩니다. 최적의 청소 결과를 위해 UPS-12100은 초음파, 화학 및 공기 브러시 요소가있는 혁신적인 이중 단계 스크러버를 사용합니다. 사용자가 편리한 PC 기반 설정 패널을 통해 장치를 구성할 수 있으므로, 웨이퍼 및 마스크 스크러버 설치는 상당히 간단합니다. 또한 HUGLE UPS-12100 은 포괄적인 프로세스 모니터링을 제공하기 때문에, 디바이스 성능을 쉽게 추적할 수 있습니다. 이 모니터링을 통해, 표면에서 제거 된 입자, 흙, 먼지 및 기타 오염 물질의 정확한 양을 측정 할 수 있습니다. 또한, 스크러빙 프로세스를 조정하여 원하는 결과를 만들 수 있습니다. 제품이 설치되면, 디바이스는 3 분 이내에 전체 주기를 완료할 수 있습니다. 주기 동안, 회전 가능한 상단 및 하단 단계는 모두 최대한의 효율을 달성하도록 최적화됩니다. 또한 UPS-12100 (UPS-12100) 에는 여러 가지 클리닝 모드가 장착되어 있어 장치가 다양한 방식으로 다양한 유형의 표면을 청소할 수 있습니다. 이러한 클리닝 모드에는 공격적인 모드, 정상 모드 및 부드러운 모드가 포함됩니다. 또한이 장치는 고유하게 설계된 플래튼 리프트 시스템 (Platen Lift System) 과 웨이퍼와 마스크 사이의 교차 오염을 방지하는 액티브 잠금 (Active Lockdown) 기술을 갖추고 있습니다. 마지막으로 HUGLE UPS-12100은 저전압 DC 전원 공급 장치로 구동되며, 소음 감소 기술을 사용하여 작동 소음을 최소화합니다. 사고를 예방하기 위해 설계된 몇 가지 안전 기능도 있습니다. 여기에는 2 단계 도어 가드, 비상 정지 스위치 및 비상 전원 끄기 스위치가 포함됩니다. 전반적으로 UPS-12100 (UPS-12100) 은 강력하고 안정적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로 철저하고 효율적인 청소 결과를 제공합니다.
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