판매용 중고 HUGLE UPC-8300 #9223291
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ID: 9223291
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
SMIF Pod auto cleaner, 8"
Mainframe:
(10) Stocker stages
Stocker robot
(2) Turn-mechas
(2) Chamber robots
(2) Chambers
2001 vintage.
HUGLE UPC-8300 (HUGLE UPC-8300) 은 반도체 웨이퍼와 마스크의 표면을 청소하고 닦는 데 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 스크러버는 고급 기술을 사용하여 표면에서 먼지, 흙, 입자, 오염 물질을 빠르고 효율적으로 제거합니다. UPC-8300은 두 가지 주요 구성 요소 (스크러빙 헤드와 워터 탱크) 로 구성됩니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 는 다루기 쉬운 가볍고 견고한 스테인레스 스틸 (stainless steel) 재료로 만들어지며 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 표면 주위에서 기동할 수 있습니다. 물 탱크에는 물에서 오염 물질을 정화 및 제거하기 위해 2 단계 여과 시스템 (미립자 필터 및 활성화 된 탄소 필터) 이 장착되어 있습니다. 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 는 일련의 제트기에 부착되어 있으며, 물을 분산시키고 액체를 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 표면에 긁습니다. HUGLE UPC-8300 (HUGLE UPC-8300) 은 또한 과열 또는 전력 급증 시 장치를 차단하는 독특한 자동 차단 안전 기능을 갖추고 있습니다. 특수 설계 된 모션 락 (motion lock) 시스템은 움직이는 동안 스크러버 헤드 (scrubber head) 를 유지하여 재료의 미끄러짐 또는 손상 위험을 줄입니다. 또한, 스크러버 (scrubber) 에는 일련의 조정 가능한 설정이 있으며, 이를 통해 사용자는 스크러빙 요구에 가장 적합한 제트기의 스크러빙 속도와 강도를 설정할 수 있습니다. UPC-8300은 웨이퍼와 마스크 표면에서 먼지, 먼지, 입자, 오염 물질을 빠르고 효과적으로 제거하도록 설계되었습니다. 지표 청소 및 연마 (polishing) 를 위해 안정적이고 효율적인 솔루션을 필요로 하는 모든 반도체 제조업체, 실험실, 대학교에 이상적인 솔루션입니다. 스크러버 (scrubber) 의 조절 가능한 설정을 사용하면 응용 프로그램의 요구에 맞게 스크러빙 강도를 쉽게 조정할 수 있습니다. 자동 안전 차단 (safety shut-off) 및 동작 잠금 시스템 (motion lock system) 은 웨이퍼 및 마스크 청소를위한 안전하고 안정적인 도구입니다.
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