판매용 중고 HUGLE UPC-8300 #9157622

HUGLE UPC-8300은 반도체 산업에서 사용하도록 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. UPC-8300 (UPC-8300) 은 웨이퍼 표면을 효율적으로 청소하고 새로 고칠 수 있도록 설계된 자동화되고 효율이 높은 스크러빙 장비입니다. 스크러빙 시스템은 3 단계의 스크러빙을 통해 웨이퍼를 운반하는 컨베이어로 구성됩니다. 필요한 경우 단계를 통해 추가 클리닝을 수행할 수 있습니다. "스크러버 '의 첫 단계 는 세제 와 물 을" 웨이퍼' 에 바르는 데 사용 되는 "프레쇼크 '단계 이다. 이 단계에서, 스크러빙 미디어가 동시에 웨이퍼를 통과하는 동안, 웨이퍼는 액체에 잠깁니다. 이 과정 은 "웨이퍼 '에 붙어 있는 오염 물질 을 풀어 주어, 스크러빙 과정 에 대비 하는 데 도움 이 된다. 두 번째 단계는 스크러빙 단계 (scrubbing stage) 로, 스크러빙 미디어를 웨이퍼 표면에 직접 적용하는 데 사용됩니다. 이 단계에서, 웨이퍼는 수평으로 배치되고, 스크러빙 미디어는 스크럽 (scrub) 의 웨이퍼 (wafer) 에 적용되어 동작을 회전시킵니다. 이 단계는 모든 오염 물질을 웨이퍼에서 제거하도록 설계되었습니다. 세 번째 단계 는 "렌즈 '단계 로서" 웨이퍼' 에 남아 있는 세제 잔류 물 을 제거 하는 데 사용 된다. 이 단계 에서, "웨이퍼 '는 물 과 이온화 된 물 의 용액 에 잠겨" 스크럽' 과 회전 운동 으로 회전 한다. 이렇게 하면 스크러빙 (scrubbing) 프로세스 후 면에 깨끗한 서피스가 남게 됩니다. HUGLE UPC-8300에는 400 ~ 800 RPM 범위의 가변 속도 제어가 있습니다. 제어는 스크러빙 (scrubbing) 프로세스가 사용 중인 웨이퍼 기판 (wafer 기판) 재료에 적합한 속도로 수행되도록 하는 데 사용된다. 스크러버에는 웨이퍼를 빠르게 로드 및 언로드할 수있는 로드/언로드 장치도 있습니다. 이 기계에는 클램핑 방지 모드, 온도 초과 보호, 수냉식 등 안전 기능도 장착되어 있습니다. 또한, 이 도구의 설계는 스크러버를 분해하지 않고도 휠 교체를 허용합니다. 이러한 기능은 스크러빙 (scrubbing) 프로세스가 안전하고 효율적인 방식으로 수행되도록 도와줍니다. 전반적으로 UPC-8300 은 최고 수준의 클리닝 성능을 제공하도록 설계된, 효율적이고 자동화된 스크러빙 자산입니다. 이 모델의 가변 속도 제어 (variable speed control), 장비 로드 및 언로드, 안전 기능으로 인해 반도체 산업에 이상적인 시스템이되었습니다.