판매용 중고 HUGLE UH-4150 #9156040

HUGLE UH-4150 Wafer 및 Mask Scrubber는 반도체 산업의 자동 웨이퍼 및 마스크 스크러빙을 위해 설계되었습니다. 스크러버에는 4 개의 모터 제어 연속 선형 캐리지가 장착 된 대형 스테인레스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 가 있으며, 이를 통해 자동 웨이퍼 및 마스크 청소 프로세스가 가능합니다. 욕조는 최대 4개의 웨이퍼 (wafer) 및/또는 1개의 마스크를 수용할 수 있으며, 각 고객의 구성 요구에 맞게 크기를 조정할 수 있습니다. 스크러버 (scrubber) 는 개폐를 위해 공압적으로 작동하는 2 개의 덮개 잠금 시스템을 갖춘 견고한 디자인을 갖추고 있습니다. 비상 사태가 발생할 경우 전원 및 수동 워크스테이션 (manual workstation) 을 안전하게 분리하기 위해 전동식 E-stop (전동식 E-stop) 도 하나 있습니다. 스크러버 (scrubber) 에는 부품 처리를 위해 뜨거운 물 또는 차가운 물을 공급하기 위해 온도가 조절 된 물 저수지가 내장되어 있으며, 여러 사전 프로그래밍 된 클리닝 사이클을 수용 할 수 있습니다. 오퍼레이터가 스크러빙 (scrubbing) 프로세스를 모니터링하는 한편, 포지셔너 (positioner) 메커니즘은 스크러빙 (scrubbing) 주기를 통해 지속적으로 안전하게 이동하면서 고성능 정밀 모션 (motion) 운송 시스템을 사용할 수 있습니다. 이 시스템은 처리 시간을 줄이고 잠재적 스크래치가 손상되지 않도록 합니다. 모든 스크러빙 기능은 모션 프로세서와 사용자 정의 가능한 GUI (Graphical User Interface) 에 의해 모니터링되고 제어됩니다. 스크러버 (scrubber) 에는 청소 주기 동안 부품을 저장하고 비우는 데 사용할 수 있는 새로운 슈트 (chute) 어셈블리가 전면 패널에 부착되어 있습니다. 이 "슈트 '는 중력 의 흐름 을 사용 하여 잔여 화학 물질 과 다른 오염 물질 을 약실 로부터 효과적 으로 배수 시킨다. 스크러버 (scrubber) 는 또한 공기 실린더 (air cylinder) 와 동작 용 열압착성 밸브 (thermopressure valve) 세트를 통합하여 스크러빙 과정에서 생성 될 수있는 가스와 열의 효율적인 방출을 가능하게한다. 스크러버는 까다로운 환경을 포함하여 산업용으로 설계되었습니다. UH-4150 은 긴 수명 (life of use) 을 제공하도록 설계되어 유지 보수 기간 단축과 더불어 신뢰성이 향상되었습니다. 스크러버는 또한 ETL 인증을 받았으며 필수 산업 표준을 충족합니다. 최고 성능과 신뢰성을 보장하기 위해 스크러버 (scrubber) 는 고품질 부품으로 만들어지며, 이를 통해 거친 화학 물질을 처리하고 런타임 (run time) 을 연장할 수 있습니다.