판매용 중고 GST GFC-1501A #9282157
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GST GFC-1501A는 공장 자동화 응용 프로그램을 위해 설계된 정밀 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 고속 로봇 암을 사용하여 반도체 부품을 깨끗하고 연마하여 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 표면에서 오염 물질을 우월하게 제거합니다. 스크러버 (scrubber) 에는 웨이퍼 및 마스크 표면을 균일하게 청소할 수있는 독특한 이중 경로 브러시 (brush) 장비가 장착되어 있습니다. 이중 경로 브러쉬 시스템은 결함을 줄이고 청소 결과의 균일성을 증진시키는 데 도움이됩니다. 이 장치를 사용하면 스크러버 (scrubber) 가 매우 높은 수준의 성능을 발휘하여 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 표면에서 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. "로봇 '암 은 신빙성 있는" 모우터' 에 의하여 구동 되며 매우 정확 하며, "웨이퍼 '와" 마스크' 표면 의 정확 한 이동 을 허용 하여 두 표면 을 정확 하게 청소 하고 연마 할 수 있다. "로봇 '암 은 최고 4G 의 가속 을 낼 수 있으며, 최고 5000mm/s 의 속도 에 도달 할 수 있어, 빠른 청소 성능 을 낼 수 있다. "로봇 '암 은 융통성 있는 설계 를 가지고 있어서" 웨이퍼' 나 "마스크 '표면 의 거의 모든 위치 에 쉽게 도달 할 수 있다. GFC-1501A는 또한 3 단계 여과 도구를 사용하여 1 미크론만큼 작은 미립자를 포착 및 제거하는 고효율 미립자 제거 머신을 특징으로합니다. 이 자산을 사용하면 웨이퍼 및 마스크 표면을 빠르고, 철저하고, 반복적으로 청소할 수 있습니다. 또한, 스크러버에는 자동 로드 (loading) 및 언로드 (unloading) 모델이 장착되어 있어 간단하고 자동화된 웨이퍼 및 마스크 처리가 가능합니다. 자동 로드 (automated loading) 및 언로드 (unloading) 장비는 일관성 있는 작동을 제공하며 시간당 최대 100 개의 웨이퍼와 마스크를 처리 할 수 있습니다. 또한 GST GFC-1501A 는 사용자에게 매우 친숙한 작업 및 제어 인터페이스를 제공하여 손쉽게 설치, 사용할 수 있습니다. 이 인터페이스를 사용하면 스크러버 설정을 빠르고 쉽게 프로그래밍하고, 클리닝 (cleaning) 및 연마 (polishing) 매개변수를 조정하고, 스크러버 성능을 볼 수 있습니다. GFC-1501A (GFC-1501A) 는 Wafer 및 Mask Cleaning 및 Polish의 정확성과 정확성이 필요한 공장 자동화 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다. GST GFC-1501A는 신뢰할 수 있고, 내구성이 뛰어난 구성, 다용도 디자인, 고속 로봇 암, 고효율 미립자 제거 시스템을 통해 모든 웨이퍼 및 마스크 클리닝 어플리케이션에 뛰어난 클리닝 성능과 안정적인 작동을 제공합니다.
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