판매용 중고 GST GFC-1310A #293651804

GST GFC-1310A Wafer and Mask Scrubber는 반도체 웨이퍼, 패턴화 된 포토 마스크, 회절 광학 재료 및 기타 기판의 표면을 청소하는 데 사용되는 자동 장비입니다. GFC-1310A는 시간 테스트 된 세제 스크러빙 기술과 브러시리스 모터 (brushless motor) 및 제어되고 부드러운 스크러빙 기술을 결합하여 매우 효과적인 스크러버 시스템을 만듭니다. GST GFC-1310A는 다양한 웨이퍼, 마스크 유형 및 기판을 처리하도록 설계되었습니다. 브러시가없는 모터는 민감한 기판을 손상시키지 않고 활발한 스크러빙을 보장합니다. "모터 '는 밀봉 된 염기 에 의해 먼지 와 다른 오염 물질 로부터 보호 되어, 그것 이 깨끗 하고 건조 하게 유지 된다. 모터는 또한 옵션 필터 세트에 의해 공수 입자에서 분리됩니다. GFC-1310A의 사용자 친화적 인 인터페이스를 통해 빠르고 직관적인 프로그래밍이 가능합니다. 여기에는 LED 디스플레이, 모든 문제의 운영자에게 알리기 쉬운 알람, 프로그래밍 가능한 세제 스크러빙 사이클 등이 포함됩니다. 운영자는 웨이퍼나 마스크의 특정 클리닝 요구에 맞게 최대 4 개의 스크러빙 속도를 선택할 수 있습니다. 스크러버 유닛은 사용자의 기본 설정에 따라 수동 (manual) 또는 프로그래밍된 중지 (programmed stoppage) 도 허용합니다. GST GFC-1310A (GST GFC-1310A) 의 스크러빙 액션은 저압, 공기 세탁기로 확대되어 기판을 나머지 먼지와 입자를 지우는 데 도움이됩니다. 또한 스프레이 앤 드라이 (spray-and-dry) 단계 (옵션) 가 있으며, 이는 기질의 완전한 건조를 보장하기 위해 사이클에 추가 될 수있다. GFC-1310A 는 효율성이 높고 안정성이 높아 다운타임이 최소화되고 고품질 결과를 지속적으로 얻을 수 있습니다. 또한 기존 Process Line에 쉽게 통합되므로 Wafer 또는 Mask Cleaning Facility 또는 작동을 위한 비용 효율적이고 사용이 간편한 툴입니다.