판매용 중고 G&P TECHNOLOGY 412R #9067704
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G&P 기술 412R (G&P TECHNOLOGY 412R) 은 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 웨이퍼와 마스크를 청소하고 건조시키는 측면에서 최적의 성능을 제공하도록 설계되었습니다. "실리콘 웨이퍼 '와 유리, 석영, 도자기 와 같은 다른 기판 들 에 적합 하다. 이 스크러버는 최대 12 인치 웨이퍼 크기를 처리 할 수 있으며 단일 레벨 및 이중 레벨 웨이퍼 기판을 모두 지원합니다. 스크러버에는 2 개의 스핀 드라이어로 구성된 클리닝 시스템이 장착되어 있습니다. 스핀 건조기 (spin-dryers) 는 깨끗한 표면을 보장하고 기판과 스핀 건조기 사이에 잔해가 없도록 설계되었습니다. 게다가, "스크러버 '는 빠르고 효율적 인 건조 과정 을 위해" 플러시 라인' 과 "아토마이저 '를 갖추고 있다. 전체 스크러버는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 쉽게 설치 및 작동 할 수 있습니다. 청소 과정은 진공 실에서 이루어집니다. 처음 에는 "와퍼 '나" 마스크' 가 "벨트 '컨베이어 를 통하여 진공실 로 실려 간다. 진공실은 청소, 건조 및 건조 과정에서 흡입이 적용되도록 설계되었습니다. 진공 상태 는 어떤 파편 이 "시스템 챔버 '에 들어가지 못하게 하고 기질 을 오염 물질 로부터 깨끗 하게 한다. 스크러버 (scrubber) 는 프로그래밍 가능한 컨트롤러에 의해 제어되는 청소 용 스프레이 응용 프로그램을 사용합니다. 이 컨트롤러는 수동, 반자동 (semi-automatic) 또는 완전 자동 (fully automatic) 과 같은 다양한 클리닝 응용 프로그램에 맞게 프로그래밍될 수 있습니다. 청소 과정이 완료되면, 스크러버 (scrubber) 는 부드러운 폭발로 균일 한 청소 방법을 제공합니다. 412R 스크러버에는 2 개의 적외선 건조기가 있습니다. 이 적외선 건조기는 웨이퍼/마스크에서 잔류 물을 제거하고 전체 기판에서 균일 한 건조를 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 의 드리프트 제어 기능을 사용하면 기판의 재료에 따라 정밀한 온도 조정이 가능합니다. 게다가, 이 "스크러버 '는 어떤" 웨이퍼' 나 "마스크 '가 막히면 작동 을 멈추는" 센서' 를 포함 한 여러 가지 안전 기능 으로 설계 되어 있어서 손상 이나 개인 상해 로부터 보호 해 준다. 더우기, 그것 은 기판 의 손상 을 방지 하기 위하여 "챔버 '의 수분 을 측정 하는 습도" 센서' 를 특징 으로 한다. 최고 품질의 성능을 보장하기 위해 이 스크러버는 FDA 요구 사항을 충족하도록 설계, 제작되었습니다. G&P 테크놀로지 412R 스크러버 (G&P TECHNOLOGY 412R scrubber) 는 깔끔한 디자인, 견고한 구성, 다양한 특화된 안전 및 품질 기능을 갖춘 반도체 업계에 새로 추가되었습니다.
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