판매용 중고 FEI TEMLink 14471-001 #9215703
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FEI TEMLink 14471-001 웨이퍼 & 마스크 스크러버 (mask scrubber) 는 반도체 업계에서 사용되는 웨이퍼 및 포토 마스크 청소를 단순화하고 향상시키기 위해 설계된 모든 기능을 갖춘 고도로 자동화된 워크스테이션입니다. 이 스크러버는 최소 수동 처리로 세미콘, 쿼츠, 유리, 포토 마스크 등 여러 기판을 효율적이고 정확하게 청소할 수 있습니다. 이 "시스템 '에는 청소 과정 중 에" 웨이퍼' 를 설치 하기 위한 진공 "척 '이 들어 있다. 척은 통합 자동 컨트롤러에 의해 제어되며, 각도 스크러빙 (scrubbing angle), 솔루션 유형 (solution type), 유지 시간 (dwell time) 과 같은 매개변수 프로그래밍을 허용합니다. 스크러버는 수동 작동을 위해 수동 무시 모드도 제공합니다. TEMLink 14471-001은 터치 제어 및 프로그램 메모리와 함께 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공하여 레시피 (Recipe) 생성, 저장 및 읽어들이기 쉽습니다. 이 레시피는 각 클리닝 작업에 필요한 특정 매개 변수에 빠르게 조정할 수 있습니다. 용액 저수지에는 두 가지 다른 클리닝 솔루션을 수용하기에 충분한 공간이 있으며, 폐기물을 줄이면서 빠르고 효과적인 클리닝 (cleaning) 을 허용합니다. 스크러버에는 표면 결함, 정전지 및 이물질을 줄일 수있는 가습기가 내장되어 있습니다. 또한 소음 및 진동을 최소화하여 사용 중일 때 연산자 (operator) 의 편안함을 보장하도록 설계되었습니다. 스크러버 (scrubber) 는 장기간 수작업으로 개입하지 않고 작동하도록 설계되어, 바쁜 생산 라인에 이상적인 솔루션이 됩니다. 스크러버 (scrubber) 는 직경 200mm까지의 기판을 수용 할 수 있으며, 다양한 생산 및 청소 환경으로 쉽게 통합 할 수있는 작은 설치 공간에 보관되어 있습니다. FEI TEMLink 14471-001 (FEI TEMLink 14471-001) 은 자동화되고 사용하기 쉽고 신뢰할 수 있는 스크러버로, 웨이퍼 및 마스크 클리닝을 향상시키고 프로세스의 수동 개입을 줄여줍니다. 이 제품은 다양한 환경에서 기판을 빠르고 일관되게 청소해야 하는 반도체 (semiconductor) 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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