판매용 중고 ELECTROVERT HS-222 #9064269

ELECTROVERT HS-222
ID: 9064269
빈티지: 1998
Hydro-cleaner 1998 vintage.
ELECTROVERT HS-222는 반도체 제작 과정에서 기판에서 잔류 오염 물질을 제거하도록 설계된 강력하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 스크러버 (scrubber) 는 특허받은 스크러빙 헤드 (scrubbing head) 와 다단계 청소 장비를 사용하여 심층적인 청소 동작 및 표면 불순물 제거를 제공합니다. 유기 및 이온 오염 물질, 금속 산화물, 탄화수소, 입자를 웨이퍼 및 마스크 표면에서 제거하는 데 사용할 수 있습니다. HS-222 스크러버에는 조절 가능한 속도와 발광 다이오드 (LED) 작동 표시기를 갖춘 강력한 맞춤형 AC 모터가 있습니다. 헤드 로테이션과 압력 스크러빙 (scrubbing head rotation) 을 제어하는 2 개의 개별 스테퍼 모터가 있어 일관되고 안정적인 성능을 제공합니다. 스크러버 (scrubber) 는 프로세스 안정성 및 효과적인 청소를 위해 흥분 시간 및 기판 접촉 격차를 조정할 수 있습니다. 스크러버의 디자인은 운영자와 기판을 모두 오염으로부터 보호합니다. 조절 가능하고 진동을 최소화하는 스크러빙 시스템을 갖춘 인체 공학 디자인이 있습니다. "스크러버 '에는" 슬로핑 스크럽' "테이블 '이 들어 있어 기판 에 재료 가 쌓이지 않도록 한다. 스크럽 발진기 (scrub oscillator) 는 기판 표면의 긁힘을 최소화하기 위해 조절 가능한 주파수로 구동됩니다. 트리플 포인트 스크러빙 헤드 (triple-point scrubbing head) 는 기판을 균등하게 청소하고 정적 충전 빌드를 제거하도록 설계되었습니다. 안전하고 안정적인 성능을 보장하기 위해 ELECTROVERT HS-222 웨이퍼 및 마스크 스크러버에는 캐스케이드 공기 필터가 장착되어 있습니다. 이 "필터 '는 유해 한 공중 오염 물질 을 호흡 할 위험 을 줄이기 위해 설계 되었다. 또한, 스크러버에는 총 커버리지 입자 여과 장치 (total coverage particle filtration unit) 가 장착되어 스크러빙 중 먼지 및 기타 입자의 오염을 최소화합니다. 이 기계는 또한 효율적인 열역학적 스크러빙 및 최대 프로세스 안정성을 위해 조절 가능한 스크러빙 속도 (scrubbing speed) 및 주파수 제어 (frequency control) 를 가지고 있습니다. 전반적으로, HS-222 스크러버는 반도체 제작 공정에 효과적이고 신뢰할 수있는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 강력한 AC 모터, 조절 가능한 스크러빙 헤드 (멀티 스테이지 클리닝 도구), 조절 가능한 흥분 시간 및 기판 접촉 간격, 여과 자산 (여과 자산) 은 오염의 위험을 최소화하고 효율적이고 일관된 기판 청소를 보장합니다.
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