판매용 중고 DNS / DAINIPPON YFT-1030 #9183823

DNS/DAINIPPON YFT-1030 Wafer 및 Mask Scrubber는 웨이퍼 및 마스크 표면에서 입자와 오염을 제거하도록 설계된 프로세스 도구입니다. 반도체 제작 공정에 사용되는 실리콘 웨이퍼와 포토 마스크 (photomask) 를 청소할 수 있습니다. DNS YFT-1030 스크러버는 픽업 및 스크럽 헤드 유닛이있는 궤도 로봇 암을 사용하여 스크러빙 동작을 만듭니다. "로봇 '은 정밀 하고 제어 된" 패턴' 으로 회전 하여 일관성 있는 결과 를 가져온다. "스크럽 '머리 는 저장" 카세트' 에서 "웨이퍼 '를 집어 들고, 그것 을" 스크러버' 장치 를 가로질러 "클리닝 '표면 으로 부드럽게 내린다. 그런 다음, "로봇 '암 은" 웨이퍼' 를 앞뒤 방향 으로 부드럽게 움직 이면서, 그 일 을 위해 설계 된 "브러쉬 '로 표면 을 긁는다. "웨이퍼 '와" 로우브 암' 은 "웨이퍼 '를 들어 올려 저장" 카세트' 로 다시 옮긴다. DAINIPPON YFT-1030 스크러버 (스크러버) 는 하드 디스크와 실리콘 웨이퍼를 모두 청소하고, 둘 중 하나를 처리하기 위한 조정 가능한 설정을 제공합니다. 하드 디스크 (hard disk) 의 경우, 스크러버 (scrubber) 는 표면을 가로 질러 향하고 디스크의 입자 및 기타 오염 물질을 배출하는 특별한 공기 폭발을 특징으로합니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 경우, 스크러버는 입자를 제거하도록 특별히 설계된 일련의 비 연마 브러시를 사용하여 웨이퍼 표면 손상을 방지합니다. 스크러버는 또한 습식 스크러빙, 드라이 스크러빙, 웨이퍼 에칭 등 웨이퍼 재생을위한 다양한 옵션을 제공합니다. 젖은 스크러빙 공정은 끈적하고 무거운 침전물을 제거하는 데 가장 좋습니다. 그것 은 "디스크 '에 뿌려진 액체 청소" 솔루션' 을 사용 하여 표면 에서 터프한 오염 물질 을 제거 하는 데 도움 이 된다. 건조 스크러빙 공정 (dry scrubbing process) 은 브러시를 사용하여 미립자 및 기타 표면 물질을 제거하는 가벼운 청소 공정이다. "웨이퍼 '에칭' 은 화학" 에치 '를 사용 하여 "웨이퍼' 에서 일부 입자 를 제거 하는 과정 이지만" 웨이퍼 '를 손상 시킬 수 있기 때문 에 거의 사용 하지 않으면 안된다. YFT-1030 스크러버 (scrubber) 는 강력하고 신뢰할 수 있는 프로세스 툴로서 웨이퍼 및 마스크 클리닝 및 재생을 제공합니다. 조정 가능한 설정으로 인해 다른 유형의 재료를 쉽게 청소할 수 있으며, 로봇 암 (robotic arm) 은 일관되게 고품질 결과를 보장합니다. 비용 효율적인 툴로서, 오염을 줄이고 프로세스 수율을 늘릴 수 있습니다.