판매용 중고 DNS / DAINIPPON TKSP-300S #9159919

DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer & Mask Scrubber는 엄격한 산업용으로 설계된 고급 웨이퍼 청소 장비입니다. 이 시스템은 업계 최고의 스크러빙 (scrubbing) 기술을 제공하여 웨이퍼와 마스크를 청소하고 유지 관리하여 생산성 및 반복 성능을 향상시킵니다. DNS TKSP-300S는 수동 스크러빙을 제거하여 신뢰할 수있는 스크러빙 (scrubbing) 과 적절한 클리닝 (cleaning) 과 반복성을 결합한 자동화된 프로세스로 대체합니다. 스크러버는 견고한 스테인레스 스틸 섀시로 구성되어 있으며 16 비트 전용 마이크로 프로세서가 장착 된 강력한 IPM (Intelligent Process Module) 을 갖추고 있습니다. 여기에는 wafer & mask cleaning cycle 및 chemical process와 같은 매개 변수를 설정할 수있는 직관적인 'Jog & Shuttle' 메뉴 탐색 장치가 포함되어 있습니다. 인터페이스에는 스크러버를 설정하거나 작동시킬 때 편리하게 사용할 수 있는 다국어 (Multi-Language) 지원도 제공됩니다. 스크러버에는 유지 보수 수준을 낮게 유지하고 생산성을 장려하는 로딩 암 (loading arm) 도 포함되어 있습니다. 스크러버 내부에는 고효율 고속 귀환 화학 목욕탕이 포함되어 있어 웨이퍼 (wafer) 가 상실에 1 초 미만 동안 남아 있습니다. 이 매우 빠른 목욕 물 의 변화 는 최소 시간 내 에 완전 한 "웨이퍼 '청소 를 보장 해 준다. 스크러버에는 금속 입자, 유기 오염 물질 (organic contaminant) 과 같은 오염 물질의 표적 스크러빙을위한 공격적인 브러시 머신이 장착되어 있습니다. [브러쉬 도구] 는 모든 유형의 마스크 기판에서 원활하게 작동하도록 설계되었습니다. 또한, 스크러버는 최적의 디플래깅 (de-flagging) 을 보장하고 소수성 및 충전 물질을 제거하고 최적의 이온 오염 제어를 허용하는 2 단계 클리닝 프로세스를 실행합니다. DAINIPPON TKSP-300S 스크러버에는 모델 전체에 공기를 순환시키는 활성 공기 여과 자산이 장착되어 있으며, 스크러버 수명을 연장하고 공수 입자에 대한 보호를 제공합니다. 이 장비 에는 "와퍼 '나" 마스크' 에 남아 있는 "가스 '나 먼지 를 전달 하는 흔적 을 제거 하는 고급 자동" 린스' 장치 도 갖추어져 있다. 또한 TKSP-300S 스크러버는 향상된 유지 관리 기능을 제공하며, 장치 상태 및 예방 유지 보수에 대한 실시간 모니터링을 제공합니다. 스크러버는 또한 보안 로그인 머신 (secure login machine) 을 통합하여 운영자가 매개변수에 대한 독점 액세스 및 모니터링 기능을 사용할 수 있도록 합니다. 전반적으로 DNS/DAINIPPON TKSP-300S Wafer & Mask Scrubber는 향상된 스크러빙 및 클리닝 기술과 자동화된 프로세스 및 사용자 친화적 인 프로그래밍을 결합하여 제어 가능하고 반복 가능한 방식으로 우수한 결과를 제공하는 업계 최고의 웨이퍼 클리닝 툴입니다.