판매용 중고 DNS / DAINIPPON SSW-80B-AR #293757033

DNS/DAINIPPON SSW-80B-AR은 산업 청소 요구를 위해 개발 된 고급 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 자동 세탁 모드를 사용하면 실리콘 웨이퍼, 포토 마스크 및 기타 기판의 처리량이 높습니다. 이 장치에는 2 개의 웨이퍼를 동시에 스크러빙하기 위해 이중 스크러빙 헤드가 장착되어 있습니다. "스크러빙 '머리 의 힘 은 조절 할 수 있어서 섬세 한 기판 을 정밀 하게 청소 할 수 있다. DNS SSW-80B-AR은 (는) 일반 웨이퍼 스크러버보다 작은 공간을 점유하는 독특한 수직 설계를 갖추고 있습니다. 이는 이미 혼잡 한 제작 시설의 추가 공간 필요성을 줄입니다. "스크러버 '에는 기판 에서 입자 와 오염 물질 을 효율적 으로 제거 하기 위한 공기" 나이프', 입자 "필터 '및 재순환 장치 가 갖추어져 있다. "스크러버 '는 예기 치 않은 액체 의 홍수 를 방지 하는" 인터페이스' 를 갖추고 있는 안전 을 염두 에 두고 설계 되었다. 또한 스크러버 (scrubber) 에는 권한이 없는 항목을 방지하기 위해 직원이 착용하는 RFID 태그와 같은 고급 사용자 인증 기능이 제공됩니다. DAINIPPON SSW-80B-AR은 정확하고 안정적인 웨이퍼 처리를 위해 다양한 기능으로 설계되었습니다. 스크러빙 (scrubbing) 공정의 결함을 감지하기 위한 감지 기술과 비정상적인 동작 감지를 위한 경보 (alarm) 를 갖추고 있다. 기질 온도 25 ° C 및 최대 70kg의 압력에서 최대 6 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. SSW-80B-AR 은 모듈식 아키텍처를 활용하여 기존 Wafer 구성 프로세스 및 설비에 통합하는 데 있어 유연성을 극대화합니다. 초저속 스플래시 (splash) 와 안개 (fog) 기능은 스크러빙 후 고가의 면적 청소의 필요성을 줄이고 먼지 및 기타 입자에 의한 불편한 환경 오염을 제거합니다. 진단, 유지 보수, 절차 선택을 위한 종합적인 디스플레이 및 도움말 시스템을 갖추고 있습니다. DNS/DAINIPPON SSW-80B-AR은 안전성, 정확성 및 신뢰성을 갖춘 정확하고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러빙을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능, 내장형 진단 기능, 사용자 친화적 설계를 통해 생산성을 극대화하면서 운영 비용을 최소화하여 업계 수준의 스크러빙 (scrubbing) 요구 사항을 충족할 수 있습니다.