판매용 중고 DNS / DAINIPPON SSW-80A #9389930
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DNS/DAINIPPON SSW-80A는 반도체 생산을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 그것 은 "이온 '화 된 물 을 뿌려서 섬세한 표면 에서 입자 와 파편 을 제거 하는 독특 한 방법 을 사용 한다. DNS SSW-80A에는 각각 고유 한 스프레이 헤드가있는 3 개의 다른 탱크가 장착되어 있습니다. 웨이퍼 스크러빙 용으로 설계된 탱크에는 일련의 홈이 있습니다. 이렇게 하면 커브된 웨이퍼가 청소에 맞게 정렬됩니다. 스크러빙 프로세스를 시작하기 위해 웨이퍼는 열린 탱크에 배치됩니다. 그 다음 에 "탱크 '의 덮개 를 더 잘 청소 하여 진공 물개 를 만든다. 그런 다음, 뚜껑이 "탱크 '바닥 에서 들어 올려지고 진공" 펌프' 가 "웨이퍼 '를 표면 으로 끌어 당기는 데 도움 이 된다. 일단 "와퍼 '가" 탱크' 표면 에 단단 히 부착 되면 고압 "스프레이 '머리 는" 탱크' 에 사이온화 된 물 을 채우고 청소 를 시작 한다. 웨이퍼는 사용자 기본 설정에 따라 한 번에 하나씩, 여러 개씩 스크러빙할 수 있습니다. DAINIPPON SS-W80A의 두 번째 탱크는 마스크 스크러빙을 위해 설계되었습니다. 이 "탱크 '는 회전 하는 팔 에 의하여 제자리 에 놓여 있으며, 부드럽지만 철저 히 청소 하도록 설계 된 특수" 스크러빙 암' 을 갖추고 있다. 가면은 스크러빙 암 (scrubbing arm) 에 놓인 다음, 가면의 섬세한 표면을 손상시키지 않고 입자와 파편을 제거하기 위해 사이온화 된 물을 뿌립니다. 이 스크러빙 암 (scrubbing arm) 은 다양한 크기의 작은 구성 요소를 청소하는 데 사용될 수도 있습니다. 세 번째 "탱크 '는" 마스크' 와 "웨이퍼 '에서 남아 있는 부스러기 를 제거 하는" 린즈' 와 부는 과정 에 사용 된다. 이 탱크에는 잔여 잔해와 입자를 날려 버릴 수있는 송풍기가 포함되어 있습니다. 완료되면, 웨이퍼와 마스크는 스토리지 상자나 컨테이너로 돌아가기 전에 (내장) 팬으로 건조됩니다. SSW-80A는 섬세한 표면에서 입자와 이물질을 쉽고 효과적으로 제거하는 이상적인 도구입니다. 3 대의 독립 전차는 마스크와 웨이퍼 (wafer) 를 올바르게 청소하도록 설계되었으며, 효율적인 청소 기능은 다운타임을 최소화합니다. 그 직관적 인 "디자인 '은 장기적 으로 쉽게 작동 하고 유지 할 수 있게 해 주며, 그것 은" 반도체' 생산 을 위한 최고 의 선택 이 된다.
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