판매용 중고 DNS / DAINIPPON SSW-80A #9293515

DNS / DAINIPPON SSW-80A
ID: 9293515
빈티지: 2000
Surface scrubber 2000 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-80A Wafer & Mask Scrubber는 복합 반도체와 디스크 드라이브 마스크 및 웨이퍼를 청소하고 유지하기 위해 설계된 다용도 고성능 청소 장비입니다. DNS SSW-80A 는 완전히 자동화된 스크러버로, 브러쉬 속도, 압력 및 기타 프로세스 매개변수를 정확하게 제어할 수 있습니다. 경제적이고 안정적인 운영을 가능하게하는 강력한 구조를 갖추고 있습니다. DAINIPPON SS-W80A에는 다양한 기판을 수용 할 수있는 조정 가능한 테이블이있는 큰 원형 스크럽 데크가 있습니다. 표는 기판의 모든 면에 액세스하기 위해 회전할 수 있으며, 또한 위아래로 기울어집니다. 스크럽 데크 (scrub deck) 는 고급 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 기판의 오염 물질을 줄이는 데 도움이 되는 고압 스프레이 시스템을 갖추고 있습니다. "스크러버 '는" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 표면 을 고른 압력 으로 부드럽게 청소 하여 전체 표면 을 포괄적 으로 청소 하는 두 개 의 독립적 이고 조정 가능 한" 스크럽 브러쉬' 를 갖추고 있다. 스크러빙 프로세스는 터치 스크린 HMI (touchscreen HMI) 에 의해 제어되며, 서로 다른 기판에 대한 스크러빙 프로세스를 사용자 정의하기 위해 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 장치에는 소프트웨어 기반 스크럽 컨트롤러 (scrub controller) 도 포함되어 있습니다. 소프트웨어 기반 스크럽 컨트롤러는 각 기판의 브러쉬 압력과 속도 (brush pressure and speed) 와 다른 매개변수 (예: wash duration) 를 자동으로 조정합니다. "스크러버 '는 0.2" 미크론' 정도 의 작은 입자 를 제거 할 수 있는데, 이것 은 가장 좋은 기판 청소 결과 를 보장 하는 데 필수적 이다. SSW-80A 는 다양한 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 크기를 처리할 수 있으며 제조 및 기타 생산 환경에서 안전하고 안정적으로 작동하도록 설계되었습니다. 또한 이 시스템은 여러 소프트웨어 패키지와 호환되며 ICP (Industry Communication Protocol) 와 같은 Industry 4.0 시스템과 호환됩니다. SS-W80A Wafer & Mask Scrubber는 안정적이고 견고한 머신으로, 웨이퍼와 마스크를 효율적이고 효과적으로 청소하고 유지 관리할 수 있습니다. 모든 복합 반도체 (compound semiconductor) 또는 디스크 드라이브 (disk drive) 생산 라인에 적합한 설계 및 맞춤형 제어 기능을 제공합니다.
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