판매용 중고 DNS / DAINIPPON SSW-629-A #9165603

DNS / DAINIPPON SSW-629-A
ID: 9165603
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Wafer scrubber, 6" 1990 vintage.
DNS/DAINIPPON SSW-629-A는 반도체 웨이퍼 및 포토 마스크 생산에 사용되는 웨이퍼 및 마스크 스크러버입니다. 이 "스크러버 '는 손상 을 입히지 않고" 웨이퍼' 와 "마스크 '를 청소 하고 연마 하는 면 에서 더 뛰어난 성능 을 제공 한다. 이 제품은 인라인 (in-line) 처리 시스템을 위해 설계되어 제조 처리량을 향상시키는 더 빠른 클리닝 방법을 제공합니다. DNS SSW-629-A에는 웨이퍼 처리 장치와 마스크 처리 장치의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 웨이퍼 처리 장치에는 5축 카세트-카세트 (Cassette-to-Cassette) 처리 시스템이 있으며, 이를 통해 일시 중지하고 위치를 조정하지 않고도 다양한 크기와 모양으로 웨이퍼를 청소할 수 있습니다. 조정 가능한 높이 웨이퍼 스테이지는 최대 200mm 직경의 웨이퍼를 청소하는 데 도움이됩니다. 청소 브러쉬 이동을 위한 고정밀 스크러빙 (scrubbing) 디스크로, 사용자가 원하는 압력과 속도의 양을 쉽게 조정할 수 있습니다. 마스크 처리 장치를 사용하면 최대 3 평방 인치의 photomask 크기를 청소할 수 있습니다. 로딩과 취급이 용이한 큰 회전 스테이지와 2 축 암이 있습니다. 가면을 청소하기위한 고정밀 스크러빙 (scrubbing) 디스크도 포함되어 있으며, 다른 양의 압력을 조정할 수 있습니다. 안전성 측면에서, DAINIPPON SSW-629-A에는 청소 솔루션을 변경 또는 보충해야 할 때 자동으로 인식하는 내장 화학 검출 시스템이 있습니다. 이를 통해 사용자는 유해 화학 물질에 노출되지 않도록 보호합니다. 또한, 클리닝 프로세스가 완료되면 시스템을 자동으로 종료하려면 fail-safe 타이머가 포함됩니다. 전반적으로 SSW-629-A는 유능하고 효율적인 웨이퍼 및 마스크 스크러버로, 품질 청소 및 연마 성능을 제공합니다. 자동 탐지 시스템 (Automated Detection System) 과 자동 차단 (Automated Shutoff) 기능은 안전 및 편의 계층을 추가하여 모든 반도체 웨이퍼 또는 포토 마스크 제조업체에 귀중한 자산으로 만듭니다.
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